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家用危险气体传感器设计（）选择材料SnO2敏感薄膜原因：随着工农业生产的迅速发展,半导体气体传感器发展日新月异.对有毒、有害气体的检测主要通过烧结工艺研制的以SnO2为基体的可燃气体传感器,由于工艺技术落后,元件的一致性不好,相比之下,薄膜气体传感器有其独特的优点,元件的功耗低、响应快、一致性好,与微电子平面工艺相容,有利于集成化、智能化传感器的发展。SnO2敏感薄膜主要有以下优点：（1）灵敏度高，出现最高灵敏度的温度较低，约在 300℃；（2）元件阻值变化与气体浓度成指数关系，在低浓度范围，这种变化十分明显，非常适用于对低浓度气体的检测；（3）对气体的检测是可逆的，而且吸附、解吸时间短；（4）气体检测不需复杂设备，待测气体可通过气敏元件电阻值的变化直接转化为信号，且阻值变化大，可用简单电路实现自动测量；（5）物理化学稳定性好，耐腐蚀，寿命长；（6）结构简单，成本低，可靠性高，耐振动和抗冲击性能好。工艺流程气敏元件结构硅基微结构气敏元件结构及各层厚度示意图如图2-1所示。敏感材料为掺1.5at.%PdCl2的SnO2薄膜，薄膜厚度约为300 nm。每个元件的面积约为3 mm x 4 mm。图2-1 硅基传感器各层结构及厚度传感器制作流程清洗硅片由于买来的双面抛光的硅片上面有有机站污、固体颗粒和金属氧化物。所以首先用1号清洗液清洗，一号清洗由水、氨水和双氧水组成。把硅片放入按一定比