电镜的原理及结构.ppt

电镜的原理及构造 三峡大学医学院电镜室 汤桂成 色差 电磁透镜 电磁透镜的景深和焦长 电磁透镜的分辨本领 电镜的原理及构造 汤桂成 医学院电镜室 * 4.1 引言 - 电子光学基础4.1.1 分辨本领 1) 人的眼睛仅能分辨0.1~0.2mm的细节2) 光学显微镜，人们可观察到象细菌那样小的物体。3) 用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是不可能的，受光学显微镜分辨本领(或分辨率)的限制。分辨本领 指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。以物镜的分辨本领来定义显微镜的分辨本领。 光学透镜分辨本领d0的公式：  式中：λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，n 是物方介质折射率，n·sinα或N·A称为数值孔径。 在物方介质为空气的情况下，任何光学透镜系统的N·A值小于1。 D0 ≈ 1/2λ 波长是透镜分辨率大小的决定因素。 透镜的分辨本领主要取决于照明束波长λ。若用波长最短的可见光(λ=400nm)作照明源，则  d0=200nm 200nm是光学显微镜分辨本领的极限 随着人们对微观粒子运动的深入认识，用于显微镜的一种新的照明源 — 电子束被发现了。  1924年法国物理学家德.布罗意(De Broglie)提出一个假设：运动的微观粒子(如电子、中子、离子等)与光的性质之间存在着深刻的类似性，即微观粒子的运动服从波-粒两象性的规律。两年后通过电子衍射证实了这个假设，这种运动的微观粒子的波长为普朗克常数 h 对于粒子动量的比值，即 λ=h/mv 对于电子来说，这里， m 是电子质量［kg］， v 是电子运动的速度［m·s-1］。 初速度为零的自由电子从零电位达到电位为U (单位为v)的电场时电子获得的能量是eU： 1/2mv2 = eU 当电子速度v 远远小于光速C 时，电子质量m 近似等于电子静止质量m0，由上述两式整理得： 将常数代入上式，并注意到电子电荷 e 的单位为库仑， h的单位为J·s，我们将得到：  ［nm］ 表4-1不同加速电压下的电子波长 0.687 1.42 2.51 3.70 5.36 6.98 8.59 电子波长/10-6nm 1000 500 200 100 50 30 20 加速电压/kV 当加速电压为100kV时，电子束的波长约为可见光波长的十万分之一。因此，若用电子束作照明源，显微镜的分辨本领要高得多。但是，电磁透镜的孔径半角的典型值仅为10-2-10-3rad。如果加速电压为100kV，孔径半角为10-2rad，那么分辨本领为：  d0 = 0.61×3.7×10-3/10-2 = 0.225 nm 控制电子束的运动在电子光学领域中主要使用电磁透镜装置。但电磁透镜在成像时会产生像差。 像差分为几何像差和色差两类。 几何像差：由于透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的像差。 色差：由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的像差。 透镜的实际分辨本领除了与衍射效应有关以外，还与透镜的像差有关。  光学透镜，已经可以采用凸透镜和凹透镜的组合等办法来矫正像差，使之对分辨本领的影响远远小于衍射效应的影响; 但电子透镜只有会聚透镜，没有发散透镜，所以至今还没有找到一种能矫正球差的办法。这样，像差对电子透镜分辨本领的限制就不容忽略了。 像差分球差、像散、色差等，其中，球差是限制电子透镜分辨本领最主要的因素。球差的大小，可以用球差散射圆斑半径Rs和纵向球差ΔZs两个参量来衡量。前者是指在傍轴电子束形成的像平面(也称高斯像平面)上的散射圆斑的半径。后者是指傍轴电子束形成的像点和远轴电子束形成的像点间的纵向偏离距离。 ΔZs 轴线上的物点，也不可避免地要产生球差。  计算表明，在球差范围内距高斯像平面3/4ΔZs处的散射圆斑的半径最小，只有Rs/4。习惯上称它为最小截面圆。 考察球差对分辨本领的影响。如果计算分辨本领所在的平面为高斯平面，就把Rs定为两个大小相同的球差散射圆斑能被分辩的最小中心距。这时在试样上相应的两个