电镜第二章.ppt

. 照明源 阴极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选区光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 图2-1 透射显微镜构造原理和光路示意图 第二章 透射电子显微镜 （TEM） TEM的简单成像过程可以表述如下： 热阴极电子枪 电子束 阳极加速 聚光镜会聚成细电子束 穿透样品（穿透强度取决于样品的厚度、平均原子序数、晶体结构或者位向的差别） 物镜 成像 中间镜和投影镜放大投射到荧光屏上 镜筒的复杂程度取决于对性能的要求 σ＞50 ? 三个透镜，聚光镜，物镜，投影镜 50 ? ＞σ＞20 ? 四个透镜，单聚光镜，物镜， 中间镜,投影镜 σ＜10 ? 五~六个透镜，双聚光镜，物镜,第 一、第二中间镜， 投影镜 一、TEM的结构及工作原理： 光学系统（镜筒部分）：包括照明系统，成像系统，观察系 统。 真空系统：由机械泵和扩散泵组成，可以达到10-5乇mmHg。 电源系统：由提供电子加速的高压部分和控制透镜聚焦成像的低压部分组成。 1. TEM的照明统： 由电子枪和聚光镜组成 1.电子枪：是TEM的电子源，由阴极，阳极和控制栅极组成。 阴极电子的发射率Jo =AT2·exp（-b/T） 2500~2700K范围内， 理想的电子源必须满足两个条件：高的稳定性以及高的亮度。 电子枪的亮度为B=J0·eV/πkT， 即B与电子发射率J0成正比。尽量找到J0高的材料可以提高电子枪的亮度。如LaB6的J0就比W高一个数量级。 . 饱和点 束流 灯丝电流 图2-3 束流与灯丝电流关系示意图 2. 聚光镜：聚光镜是用来将电子枪发射出的电子束会聚在样品上，并且起调节电流密度和照明束斑的大小的作用。 CL1是双聚焦镜中的第一聚焦镜: 是强透镜，它将第一交叉点缩小20~60倍，使束斑约为1-5μm，体现了聚光镜对束斑大小的调节。但如果直接将CL1会聚的电子照射到样品上，则物与镜之间的空间太小。 CL2是双聚光镜中的第二聚光镜，是弱透镜，长焦距，是对第二交叉点很有限的放大，仅约1~2倍。它换取了长的物与镜之间的距离，可以得到足够的工作空间来安放样品台和其他附件 欠焦 正焦 过焦 5μm 10 μm CL1 CL2 可变光栏 图2-4 TEM照明系统光路示意图 ?1 ?2 h 上线圈 下线圈 s 图2-5 垂直照明 3. 垂直照明和倾斜照明 垂直照明：即电子束轴线与成像系统的轴线合轴。在不改变倾斜角度的情况下，相对样品做平移。 ?1 ?2 h1 ?1+?2 h2 上线圈 下线圈 图2-6 倾斜照明 倾斜照明：即电子束轴线与成像轴线成一定角度，而不平移. 2. 成像系统 物镜，中间镜和投影镜组成。 成像系统的总放大倍率为各个透镜放大倍数的乘积 M= M1·M2·M3 可以通过改变各个透镜的工作电流来获得不同的放大倍数。 1. 物镜：用来形成第一幅高分辨电子像或电子衍射花样的透镜。分辨率的高低主要取决于物镜，因为物镜的任何缺陷都将被成像系统中其它透镜进一步放大，物镜通常采用强激磁，短焦距（1.5~3mm），所以要求尽可能小的球差、像散和色差 . - N N N N N N N N S S S S S S S S 透镜磁场 图2-7 电磁消像散器原理 2＞. 中间镜:是一个弱激磁的长焦距透镜。可以在0~20倍范围内调节，TEM放大倍数的改变主要是通过改变中间镜的电流来实现的。 3＞. 投影镜:强磁透镜，有高的放大倍率，将中间镜像放大并投射在荧光屏或照相底片上。 4.＞ 放大倍率和透镜工作模式的关系： 以四级透镜系统为例 OL IL1 IL2 PL 100~1000倍 x 第一像 第