扩散操作工作业指导书.docVIP

目的 建立正确操作扩散设备的规范，以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。 二、范围 适用于电池生产线扩散工段，从扩散作业准备至结束所有生产操作步骤和要求。 三、职责 3.1工艺技术人员 3.1.1负责扩散设备工序生产工艺运行的正常性、稳定性。 3.1.2负责部门内工艺运行原始资料的累积、保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。 3.1.3负责应对扩散设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。 3.2设备技术人员 3.2.1负责扩散设备开关机、故障分析、设备维护及检修。 3.2.2如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。 3.2.3 负责部门内设备运行原始资料的累积，保管，随时检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障. 3.3生产人员 3.3.1负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。 3.3.2细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。 3.3.3配合、协助设备的日常维护工作。 四、扩散工艺操作标准流程 4.1 操作前准备工作 4.1.1 正确穿戴方法及要求： 4.1.2、扩散前工具的准备 工具要求：舟叉、石英舟、石英吸笔 卸片盒（见下图） 4.2 操作要求及步骤（若插卸片方式更改，再做修改） 4.2.1取片 从传递窗中取硅片到扩散工作台。（注意：传递窗两边的门不能同时打开，每次只允许取一盒，不能叠放）。 4.2.2插片 4.2.2.1 硅片插入石英舟保持倾斜状，从炉尾到炉口，与石英舟的倾斜方向相同。 4.2.2.2 插片前，注意区分扩散炉是左手设备，还是右手设备。 4.2.2.3 取2盒硅片放到扩散工作台上，右边的那一盒翻转1800。 4.2.2.4 单面扩散，一个插槽插2片硅片。依次从左边、右边的硅片盒中取硅片，相应地插入一个插槽的左边和右边，必须确保没有滚轮痕迹的那一面作为扩散面。 4.2.3 上舟 用舟叉将插满硅片的石英舟从扩散工作台装载到扩散炉的舟托上，注意舟在桨上的位置，从炉尾到炉口，硅片保持“\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\”状，然后运行工艺流程，进舟。 搬运过程中，石英舟外侧略微翘 4.2.4 工艺运行 4.2.4.1检查“Slider”是否在上料位置，若不在，手动状态下移到上料处：“Manual/Slider/to port”（图一）。把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置（图二） 图一 图二 4.2.4.2在“Setup”界面选择“Boat”项（图三），选择一个舟号，进行工艺信息编辑。 4.2.4.3选择确定后，进入“boat activation”界面（图四），点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to ‘Ready for processing’和‘Boat will be removed for unload’”复选框,再点击“Next”按钮。 图三 图四 4.2.4.4进入“Handling information”界面（图五），把舟上的编号输入到“Boat ID”一栏，同时选择Load position为“Slider”，再点击“Next”按钮。 4.2.4.5进入“Process tube selection”界面（图六），选择需运行工艺的管号，在正常情况下1-4管全部选中，再点击“Next”按钮 图五 图六 4.2.4.6进入“Boat information”界面（图七）， 在Actual boat location位置选择“Slider”，在Boat state位置选择“Wait for tube”，再点击“Next”按钮。 4.2.4.7进入“Process information”界面（图八），选择相应的运行工艺名，在“Lots in boat”中输入相关舟的信息，再点击“Finish”按钮。