相平衡热力学在计算中的应用CVD.ppt

反应自由能 温度 AlBr3分压 NH3分压 系统压力 生长速率 热力学在计算中的应用 燃料电池电动势的计算 CVD制备AlN薄膜 一、燃料电池电动势的计算 固体氧化物燃料电池工作原理 电动势 Cathode Anode dT=0, dp=0 不同温度下的开路电压计算 Example of an BPG component BPG by Gasification of Rice Husk Composition of BPG Cathode Anode dT=0, dp=0 2. Theoretical approach Chemical Reactions in BPG 设定温定压下，气体多化学反应体系的状态方程为　F（n1,n2,…ni,…nk）=0 则体系的总自由能为 ni为第i种物质(mi)的摩尔数，μi为其化学势　 当体系为封闭体系时，则体系要遵守原子数守恒的限制，即 aji为i物质化学式中第j种元素的原子个数，bj是整个体系中第j种元素的总原子摩尔数 自由焓最小化方法来计算平衡组成 将复杂化学平衡计算作为受线性约束条件制约的某一目标函数的极值化问题来处理。具体采用拉各朗日待定乘子法。 在定温、定压条件下对ni求导，且令它为零(极值条件)，得 或 根据化学势表达式 式中 是纯物质i的生成自由焓 ，于是得 现在有k个含n1,n2,…nk个未知数和m个含λj未知数的关系式故方程式有定解。 Or Equations Solving equations Taylor expansion →linear system of equations Newton iteration; 700-1200K MATLAB? Fuel Composition ? H2(%) CO(%) CH4(%) CO2(%) H2O(%) N2(%) BPG 10.70 9.75 1.05 15.44 0 63.06 Humidified hydrogen 97 0 0 0 3 0 Humidified methane 0 0 97 0 3 0 Equilibrium component for BPG fuel e.m.f.for cells with pure ionic conducting electrolytes Composition effect on e.m.f. Humidification effect on e.m.f. e.m.f. for YSZ and doped ceria electrolytes Open-circuit Voltages 二、CVD法制备AlN薄膜 CVD制备装置 影响因素 系统压强 系统温度 NH3分压 AlBr3分压 载气流量 可能的反应 2NH3=3H2+N2 气相物种 AlBr3 NH3 N2 HBr Br2 AlBr H2 Al2Br6 反应平衡方程式 质量守恒 系统压强不变 反应方程（4） 质量守恒（2） 氨裂解（1） 系统压强（1） 独立物种（8） 生长速率 MAlN, 分子量 S，衬底面积，假设消耗掉的AlBr3全部用于AlN膜生长 rAlN，生长速率，单位 ?m/min