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第二篇材料电子显微分析 第八章电子光学基础 8.1 电子波与电磁透镜 色差 电磁透镜具有与光学透镜相似的光学原理。 若Δr0=1nm，α=10-2rad，M=200，则DL=8mm。这表明该透镜试剂像平面在理想像平面上或下各4mm范围内移动时不需改变透镜聚焦状态，图像仍保持清晰。 对于多级电磁透镜组成的电子显微镜，其终像放大倍数等于各级透镜放大倍数之积，因此终像的焦长可超过10~20cm。这对于拍摄图像是十分有利的。 (1)人的眼睛仅能分辨0.1~0.2mm的细节.(2)光学显微镜，人们可观察到象细菌那样小的物体。(3)用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是不可能的，受光学显微镜分辨率的限制。 把0.2μm放大到0.2nm让人眼能分辨的放大倍数是1000倍。这个放大倍数称为有效放大倍数。光学显微镜的放大倍数可以做的更高，但这对提高分辨率没有贡献，仅仅是让人眼观察的更舒服。所以光学显微镜的放大倍数一般最高在1000-1500倍。 电子光学分析所用的仪器共同特点是采用电子照明，涉及电子光学。 随着人们对微观粒子运动的深入认识，用于显微镜的一种新的照明源——电子束被发现了。 1924年法国物理学家德.布罗意(De Broglie)提出一个假设：运动的微观粒子(如电子、中子、离子等)与光的性质之间存在着深刻的类似性，即微观粒子的运动服从波-粒两象性的规律。两年后通过电子衍射证实了这个假设。 上述讨论了最简单的电磁透镜-短线圈磁场的聚焦成像原理。其缺点是：（1）部分磁力线在线圈外，对电子束聚焦不起作用；（2）磁感应强度低。 软磁壳内孔和环形间隙的尺寸越小，间隙附近区域磁场强度越高，对电子的折射能力越强，相应透镜的焦距越短。为进一步缩小磁场的广延度，使大量磁力线集中于缝隙附近的狭小区域内，接出一对顶端成圆锥状的极靴。带有极靴的电磁透镜可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。 球差是限制电子透镜分辨本领最主要的因素。透镜是球面，对边缘部分聚焦能力强，中心部分能力弱，在像平面得到弥散圆斑。 * * 光学显微镜的分辨率极限 分辨率：指成像物体（试样）上能分辨出来的两个物点间的最小距离。 光学显微镜的分辨率为： 由此可知，在可见光波长范围内，光学显微镜分辨率的极限为200nm。 根据分辨率公式可知，要提高显微镜的分辨率，关键是降低照明光源的波长。 比可见光波长更短的有： ①紫外线—波长在0~400nm之间，会被物体 强烈的吸收； ②X射线—迄今为止还没有能使X射线改变方 向、发生折射和聚焦成像的物质， 即没有X射线的透镜存在； ③电子波 电子波的波长特性 1924年法国物理学家德布罗意提出：运动的微观粒子（如电子、质子等）都有一种波与之对应，并认为粒子的特征波长λ与动量P之间的关系应当与光子的相同，联系这种波的关系式是： 初速度为零的电子, 受到电场V的加速，获得的能量为： 由此得到初速为零的电子受加速电场作用后 的速度为 V较低时，电子速度远远小于光速，m≈m0，带入常数得： 电子波长与其加速电压的平方根成反比。V越高，λ越短。 V很高时，相应电子速度极高，m≠m0，引入相对论校正： 对于高能电子束，计算必须修正。 表1 不同加速电压下的电子波长 0.87 1.42 2.51 3.70 5.36 6.98 8.59 电子波长/10-3nm 1000 500 200 100 50 30 20 加速电压/kV 当加速电压为100kV时，电子束的波长约为可见光波长的十万分之一。因此，若用电子束作照明光源，显微镜的分辨率要高得多。其分辨率为：  Δr0 = 1/2×3.7×10-3 nm= 0.00185 nm 电磁透镜：用磁场使电子波聚焦成像的装置。 电磁透镜 电磁透镜的聚焦原理 通电的短线圈就是一个简单的电磁透镜，它能造成一种轴对称非均匀磁场。穿过线圈的电子在磁场的作用下将作圆锥螺旋近轴运动。而一束平行于主轴的入射电子束通过电磁透镜时将被聚焦在主轴的某一点，即焦点。 图1 电磁透镜的聚焦原理示意图 提高电磁透镜聚焦能力的措施：将软线圈装载软磁材料（低碳钢或纯铁）制成的具有内环形壳子里。 a） b） c） 图2 有极靴电磁透镜 a) 极靴组件分解 b) 有极靴电磁透镜剖面 c) 三种情况下电磁透镜轴向磁感应强度分布 电磁透镜物距（L1）、像距（L2）、焦距（f）、放大倍数（M）之间关系为： 电磁透镜的焦距（f）为： 式中（IN）为电磁透镜励磁安匝数。 电磁透镜是一种变焦距或变倍数的会聚透镜，这是