陀螺仪传感器产业的探究.docVIP

MEMS陀螺仪传感器产业探究 目录： 一、MEMS陀螺仪市场现状 2 第一节、MEMS主要厂家产品资料汇总 2 第二节、MEMS在我国的产业现状 2 二、MEMS陀螺仪介绍 3 第一节、什么是微机械（MEMS）？ 3 第二节、微机械陀螺仪（MEMS gyroscope）的工作原理 3 第三节、微机械陀螺仪的结构 4 三、MEMS技术的加工工艺 6 第一节、体加工工艺 6 第二节、硅表面微机械加工技术 7 第三节、结合技术 7 第四节、逐次加工 8 第五节、LIGA工艺 8 第六节、THEMLA工艺流程 9 四、基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计 9 第一节、MEMS陀螺仪信号处理平台的硬件结构 9 第二节、MEMS陀螺仪信号处理平台系统任务分析 10 第三节、MEMS信号处理平台软件设计方案 11 五、基于GPS的汽车导航系统的设计与实现 12 第一节、主体控制方案 12 第二节、GPS定位系统设计 13 第三节、车体部分MCU 主控模块设计 14 第四节、系统软件设计 14 一、MEMS陀螺仪市场现状 MEMS陀螺仪即微机电系统陀螺仪，是一种微型传感器，主要用于手机及游戏机等领域。与普通芯片相比，除计算功能外，此产品还具有感知功能，通过内置的 陀螺仪传感器 可以感知外界运动，并做出相应反应。 在具体应用上，MEMS芯片可以用在消费类电子产品上，比如游戏机中的动作控制