电容式传感器学生精选.pptVIP

* * 当差动电容C1 = C2 = C0, 即d1 = d2 = d0时, uAB = 0; 若C1≠ C2, 假设C1 C2, 即d1 =d0 -Δd, d2 = d0+Δd, 则 Ur为参考电压，把平行板电容的公式代入, 在变极板距离的情况下可得 modulator circle of pulse length * * 作业 P99 5-4, 5-5 homework * * 五、应用 1.电容压力传感器 当压力P1、P2变化时，膜片3和金属层2组成差动电容发生变化，且与压差△p＝P1-P2成正比。 application * * 2.电容转速传感器结构 1-齿轮 2-定极板 3-电容传感器及测量电路 4-频率计 电容传感器产生周期电信号，经测量电路转换成脉冲信号，用频率计显示齿轮转速。 * * 3.CS-LAS系列加速度传感器 该加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面MEMS多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构，并提供一个克服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央板形成的差动电容器机构，测量量比例于加速度的多硅结构的偏转，从而产生电压输出信号。 * * 差动式电容加速度传感器结构