第一章 精密切削加工.pptVIP

３、切削力： 普通切削——FzFy 超精密切削加工——FzFy ４、工件材料的影响： 1）表面不纯物，造成不规则的空穴和划伤 2）结果的晶界出现阶梯 3）工件有残留变形和残留应力 4）对金刚石刀具亲和力，产生粘结 * 五、进给驱动系统1、精密数控系统 有很高分辨率，每脉冲移动量0.01μ m。通过激光测量系统检测位移并反馈数控系统，形成闭环控制，很高的位移精度。 2、滚珠丝杠副驱动 滚珠在丝杠和螺母的螺纹槽内滚动，摩擦力很小。滚珠丝杠副预紧，消除正反转间回程间隙。 3、摩擦驱动 驱动杆和导轨运动体相连，夹在两摩擦轮间。上摩擦轮用弹簧压板压在驱动杆上，压力足够摩擦轮和驱动杠间无滑动。 直流电动机带动下摩擦轮转动，靠摩擦力带动驱动杠，进而带动导轨运动。 摩擦驱动装置需要解决两个结构问题： ① 摩擦轮直径。下摩擦轮直径很小，满足驱动杆运动速度极慢的要求。 ② 两个摩擦轮的支承。若用静压轴承，结构设计困难；若用滚动轴承，摩擦大，平稳性的降低。 4、液体静压和空气静压丝杠副驱动 液体静压——使用压力油，效果好，制造复杂，应用少 空气静压——使用压缩空气，进给稳定，刚度低。　 液体静压丝杠副驱动 5、微量进给装置 高精度微量进给装置则有电致伸缩式、弹性变形式、机械传动或液压传动式、热变形式、流体膜变形式、磁致伸缩式等。 电致伸缩式和弹性变形式能满足超精密微量进给要求，分辨力0.001~0.01μm。 压电和电致伸缩微进给装置 电致伸缩传感器制造微量进给机构，分辨力1.0~2.5nm；良好动特性，高响应频率（响应时间100μs），无空耗电流发热问题。 常用的电致伸缩材料为压电陶瓷PZT（PbZnO-PbT陶瓷）等。 机械结构弹性变形微量进给装置 工作稳定可靠、适于手动操作。双T形微量进给装置分辨达0.01μm，输出位移方向静刚度70N/μm，重复精度0.02μm，最大输出位移为20μm。 精密测量技术： ?????? 尺寸和形位精度用电子测微仪、电感测微仪、电容测微仪、自准直仪和激光干涉仪来测量。 表面粗糙度用电感式、压电晶体式表面形貌仪接触测量；光纤法、电容法、超声微波法和隧道显微镜法非接触测量； 表面应力、表面变质层深度、表面微裂纹，用X光衍射法、激光干涉法测量。 六、检测和误差补偿技术 实物照片 误差预防：提高机床制造精度、保证加工环境条件等来减少误差源及其影响； 误差补偿：利用误差补偿装置对误差值进行静动态补偿。 静态补偿——事先测出误差值，加工时通过硬件或软件补偿； 动态补偿——在在线检测基础上，加工时实时补偿。 双频激光测量系统 超精密机床的总体布局 超精密机床一般不需要后顶尖，总体布局上比较简单。常见的超精密机床的总体布局有： ⑴ T形布局 ⑵ 十字形布局 ⑶ R-θ 布局 ⑷ 立式结构布局 七、典型精密和超精密机床简介 T形布局的金刚石车床 T形布局: 主轴装在横向滑台（X轴），刀架装在纵向滑台（Z轴）。两轴垂直度通过装配调整保证，成本低，是当前金刚石车床的主流布局。 金刚石车床 加工4.5mm陶瓷球 美国Moore公司的Moore金刚石车床：主轴空气静压轴承，转速5000转/分，径跳＜0.1μm；液体静压导轨直线度 0.05μ/100mm；数控系统分辨率0.01 μ。 Moore金刚石车床 回转工作台 工件 刀具 主轴 传动带 主轴电机 空气垫 刀具夹持器 X、Z、C、B四个轴，B轴回转工作台增加A轴转台，实现5轴控制。数控系统分辨率1nm。可车、铣、磨和电火花加工。 旋转轴半闭环控制，直线轴激光全息式全闭环控制。 导轨、丝杠螺母副，径向轴承气体静压结构。 FANUC 微型超精密加工机床 超精密单点金刚石切削机床：2轴数控车床，1.4纳米分辨率，加工精度小于0.1微米 FG-001超精密机床 德国的FG-001超精密机床可实现纳米级的非球曲面加工。 OAGM 2500大型超精密机床 英国1991年研制成功，用于X射线天体望远镜大型曲面反射镜精密磨削和坐标测量。高精度回转工作台；精密数控系统驱动；液体静压导轨，磨轴头和测量头采用空气轴承；床身结构高刚度，强振动衰减能力。 AHNIO型高效专用车削、磨削超精密机床 日本TOYOTA生产超精密车床，主轴空气轴承支承，砂轮轴转速100000r/min，激光测量反馈系统，直线移动分辨力0.01μm，B轴回转分辨力1.3。形状精度0.05μm，Ra0.025μm。 超精密切削加工简介 一、超精密切削加工发展概况及应用　　加工精度0.01μm，表面粗糙度Ra小于0.01μm。 　　本世纪6