纯水系统操作指导书.docVIP

宜昌南玻硅材料有限公司 硅片加工项目纯水系统 操 作 说 明 目录 第1章 前言 2 第2章 设备操作维护规范 3 第3章 单元操作说明 4 3-1. 盘式过滤器 4 3-2. 板式换热器 4 3-3．UF超滤系统 5 3-4.加药系统 7 3-5.保安过滤器 8 3-6.二级逆渗透RO系统 9 3-7. 水泵 13 3-8. EDI系统 16 3-9. 抛光床系统 23 3-10. UV紫外线杀菌机、除TOC机 24 第4章 异常原因及对策 25 第1章 前言 纯水系统是以活性炭过滤器、超滤系统作为前处理，以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO 逆渗透膜作为二级除盐设备、EDI电化去离子设备，组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统，此系统具有完善、可靠的自动化性能及安全保护和报警功能，无需专人看管，并有误操作保护功能，配有远程监控系统，采用先进可靠的工控机及相应的监控组态，对系统实施远程监控并能打印相关参数。 本系统主要去除水中的悬浮物、胶体、细菌、病毒、溶解盐、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，系统脱盐率一般在97-99%以上。系统部件、设备、均采用了先进可靠的知名品牌，如：GE的EDI模块、陶氏或海德能的RO膜、GF仪表、富士/施耐德/OMRON/SIEM