版图设计准则(‘Rule’ for performance) 匹配 抗干扰 匹配设计 在集成电路中,集成元件的绝对精度较低,如电阻和电容,误差可达±20%~30% 由于芯片面积很小,其经历的加工条件几乎相同,故同一芯片上的集成元件可以达到比较高的匹配精度,如1%,甚至0.1% 模拟集成电路的精度和性能通常取决于元件匹配精度 匹配设计 失配:测量所得的元件值之比与设计的元件值之比的偏差 归一化的失配定义: 设X1, X2为元件的设计值,x1, x2为其实测值,则失配δ为: 匹配设计 失配δ可视为高斯随机变量 若有N个测试样本δ1, δ2, …, δN,则δ的均值为: 方差为: 匹配设计 称均值mδ为系统失配 称方差sδ为随机失配 失配的分布: 3δ失配: | mδ |+3 sδ 概率99.7% 匹配设计 失配的原因 随机失配:尺寸、掺杂、氧化层厚度等影响元件值的参量的微观波动(fluctuation) 随机失配可通过选择合适的元件值和尺寸来减小 系统失配:工艺偏差,接触孔电阻,扩散区相互影响,机械压力,温度梯度等 系统失配可通过版图设计技术来降低 匹配设计 随机统计波动 (Fluctuations) 周围波动(peripheral fluctuations) 发生在元件的边沿 失配随周长的增大而减小 区域波动(areal fluctuations) 发生在元件所覆盖的
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