Clean Room Introduction0906.ppt

主要規格說明 溫度相對濕度 微震 正壓 噪音 微粒子 高架地板強度 無塵室規格表 天板系統 天板 ( Ceiling grid systems ) 濾網風車組 ( Fan Filter Units 1200mm?1200mm) 照明器具 消防裝置 隔間系統 隔板 (Partition) 門扇 (Doors) 視窗 (Windows) 空氣閉鎖室 (Air lock room) 洩壓風門 (Safety Damper) 高架地板 合金壓鑄板(Panel) 地磚(Panel covering) 基座(Pedestals) 衍樑(Stringer) 支撐(Bracing System) 接地(Grounding) 機台剛性基座及防震平台 QA 歡迎指教 * P0511 FAB III Clean Room Introduction 無塵室簡介 潔淨室之定義 主要規格說明 無塵室架構　 PO511潔淨室系統課 柳志霖 mattliu@ 潔淨室之定義 密閉 之空間 能除去空氣中飄游之微塵粒子 溫度及溼度之控制 能防止微塵粒子之產生 壓力之調節 有害氣體之排除 結構物與隔間之氣密性 靜電之防治 電磁干擾之防治 相對濕度 = 溫度:此處指乾球溫度，即一般溫 度計所量得之溫度 實際含水量 飽和狀態的最大含水量 = X % 低頻(0~100Hz)範圍內之微幅震動 微震 位移量μ-m 速度μ-m/sec 加速度μ-m/sec^2 提供給工 廠之等級 通常無塵室均維持正壓以防止污染， 1K無塵室室內壓力＞10K無塵室室內壓力 約大10Pa (1Pa=1N/m2) Class1K 20Pa Class10K 10Pa 正壓 + + + 噪音 NC: (Noise Criterion) 噪音權衡基準法代表不同頻率下的噪音值 人耳所能聽到最清楚的頻率 1000~4000HZ (DB) 聲壓 160 0.3 中型噴氣式飛機 140 0.03 大型螺旋槳飛機、空襲警報 120 0.003 迪斯科舞廳、沖床 100 0.0003 城市交通、地鐵 80 0.00003 繁忙的辦公室 60 0.000003 一般講話、私人辦公室 40 0.0000003 安靜的住宅區 20 0 耳語 0 0.000000003 可聽限度 噪音值： 粒徑0.3μm 工廠提出的須求 μm Class10： 10顆/英呎^3 Class100： 100顆/英呎^3 209 E美國聯邦標準 粒徑0.3μm 指地面在承受900Kg的集中荷重(6.45㎝2測頭)時， 面板上任一點的垂直變形量(deflection)不得超過 2mm。 高架地板強度 變形量 2mm 測頭 900kg 　 無塵室架構　　　 一、天板系統 二 、隔間系統 三、高架地板 四、機台剛性基座及防震平台 五、空調系統 機台單一支撐點重量超過2500kg以上採用剛性基座設計，以滿足特殊載重需求 設計環境震動值符合精密設備所需，如VC-A，VC-B，VC-C Figure A.1 Vibration Diagram for the Array Floor (Level 40) (30um/s) (30um/s) (12.5um/s) (12.5um/s) 空調系統 外氣空調箱(MAU) 風管(DUCT) 乾式盤管(DDC) 風車濾網組(FFU) DDC FFU 無塵室各層相關壓力(無塵室 外氣：+10~20pa) Dry cooling coil:48pa FFU FFU RAISED FLOOR DCC DCC Pre filter:20pa Hepa:60pa Raised floor:12pa Air shaft 18pa Calculated total:161pa selected total:170pa Grating:3pa FFU