COXEMEM-30技术说明分解.docVIP

高分辨率台式扫描电镜技术文件 仪器型号：COXEM（库赛姆）EM-30 布鲁克能谱仪型号：Quantax100 XFlash430 北京欧同光学技术有限公司 2015年07月27日 目 录 附件一： 公司简介 3 附件二： 产品概述 4 附件三： 技术指标 5 附件四： 计划进度及培训 8 附件五： 环境要求 9 附件六： 质保及其他服务 10 附件一： 欧波同有限公司简介 欧波同有限公司是中国领先的微纳米技术服务供应商，是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业，总部位于香港，分别在北京、上海、广州、鞍山、济南、西安、成都等地设有分公司和办事处。作为蔡司电子显微镜及韩国COXEM台式扫描电镜产品在中国地区最重要的战略合作伙伴，公司秉承“打造国内最具影响力的仪器销售品牌”的经营理念，正在为数以万计的中国用户提供高品质的产品与国际尖端技术服务。 欧波同有限公司长期专注于微纳米技术应用解决方案的推广与研发。经过数年发展，欧波同有限公司目前已经成为中国最大的微纳米显微方案供应商。2003年成立以来，公司引进国外先进的营销服务理念并切合中国市场实际，独创了一套彰显行业特色的PRS营销服务模式。在不断推动行业发展、引领技术创新的同时，欧波同有限公司与中国各行业用户建立了良好的合作伙伴关系，分别在钢铁、冶金、机械、化工、电子、纳米材料、高校、科研等多个领域得到了用户的广泛认同。 COXEM公司总部位于韩国硅谷大田市大德科技区内，他的成立源于韩国国家纳米科技战略的制定与实施，由政府性的基金组织负责筹建的专业电子显微镜企业，是世界领先的台式扫描电镜企业。COXEM产品广泛应用于材料科学、生命科学、地球物理学、电子学、能源科学等领域，客户范围涵盖全球的科研院所，高校，各类检测机构及大型工业企业实验室，并且在国际科学研究领域得到广泛认同。 欧波同有限公司与韩国COXEM的战略合作将携手共同致力于功能型台式扫描电镜的推广与应用开发工作，将会为中国广大用户提供更加系统的微纳米分析解决方案。 附件二： 产品概述 扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。 COXEM（酷赛姆）桌面台式扫描电镜相较于传统大型SEM，具有占地空间小，价格低廉，实验室环境要求简单，操作维护方便等诸多优点，满足了广大科研工作者及工厂检测对高分辨率成像及成分分析的要求。此类新型仪器的出现填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的间隙，可广泛应用于材料科学、生命科学、地球物理学、电子学、能源科学等领域。 附件三： 技术指标 EM-30高分辨率台式（桌面式）扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而，可以获得更高的分辨率（8nm），是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。EM-30台式电镜配置SE探测器，可选配BSE探测器，实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，也可选配EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。 主要参数： 1、光学系统 1.1、光源：自动控制，钨丝阴极，预对中灯丝。 1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。 1.3、分辨率?：8.0nm @30KV SE 1.4、放大倍数：20x - 100,000x? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ??1.5、加速电压：1kv - 30kv（1/3/5/10/15/20/30kV） 1.6、磁透镜系统：聚光镜+物镜 物镜光阑： 4位可移动，摇摆对中 扫描光栅电位移及旋转：?+/-50um?，0-360° 2.样品室系统 2.1、样品室：6个接口，可接配内外置EDS。 2.2、样品台：X=35mm（马达驱动）， Y= 35mm（马达驱动），T=0-45°（马达驱动）， R=360°，Z=0-50mm? ? ? 2.3、样品尺寸(最大)：直径60mm，?高度45mm??? ??? 3、真空系统 全自动?(真空时间:?小于2分钟) 前级真空：旋片式机械泵 高真空：涡轮分子泵真空系统 4、探测器系统 4.1探测器： SE、EDS. 4.2扫描模式： 选区（320x240 pixel）