ESEC2007 HS操作与维修指导.docVIP

概述 2007 HS是一台技术先进，高精度的设备。与2006 HR相比，在硬件上它可支持8″ WAFER生产，Bondarm机构的优化则允许其高速运转，以提高UPH；而在软件上则已是高度的计算机控制模式，具备一高容量的硬盘用以存储各种Device相应的参数等，为以后再次生产相同产品时简化了操作。可以说2007 HS就是一台由电脑控制的终端设备，与2006 HR的单板机操作模式，在理念上已完全不同。 但同时也应看到，2007 HS其各部分的硬件等并未脱离2006 HR的结构模式，只是在局部作了些改进，使其在稳定性，精确性以及自动化方面有了较大，以适合高速运转的条件。因此，各部分的基本控制，调节等与2006 HR相比大致相同；仅仅在操作的途径上，各参数的名称上有些许不同，这也是为了适应其计算机控制模式的要求。当然，除此之外，2007 HS还有一些功能是2006 HR所不具备的。但总的来说都是为了便于操作和维修，以及设备的管理。 在这里，仅对2007 HS的操作与维修提供一些简单的指导，同时，为了在一开始便能让大家建立与2006 HR的联系，因此在以下的叙述中会以2006 HR作为参考。 Menu概述 要操作一台设备，首先是通过Menu来进行的。因此，了解2007 HS与2006 HR Menu之间的不同与联系可以加速对其的理解与认识。 2006 HR其Menu与控制都集成在一Terminal上；而2007 HS的Menu则专门用处于设备右上方的Master monitor来显示，其控制则有三种途径：Production keyboard/Pc compatiable keyboard/Mouse。除了中间的Keyboard较少使用外，前、后两者的使用较多也较为方便迅速。为了方便叙述，下面列出两者的Top menu来作一比较。 2006 HR——Top menu: Mode: ready control: LOCAL level: 0 master : on ready communic : on ready waferhandl : on ready pick+place : on ready indexer : on ready RECIPE DEBUG CONFIG START PROD COM MANUAL SETUP STATISTIC 2007 HS棗Top menu : ESEC Convert Assist Messages Teach Install Main Equipment mode = ready Current recipe name = 8SOP BCC Run 1 Stop wafer Run 1 Run 1 Run 1 Run 1 Run Run chip LF-device leadframe magazine complete 通过比较可以发现，两者的联系大致如下： mode: —— Equipment mode: 都是用来指示设备的状态。分别有waiting for INIT、ready、RUNNING（或Processing）三种状态。 Level: 0 —— Main 皆用来指示当前为Top menu。而前者随着