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2006-10-09 电子显微分析之电子光学基础 材料化学研究方法 第四章 电子显微分析 4.1 概述 4.2 电子光学基础 4.3 电子与物质的相互作用 4.4 透射电镜 4.5 扫描电镜 4.6 电子显微其它分析技术 相似点 几何光学是利用透镜使光线聚焦成像，电子光学利用电场或磁场使电子束聚焦成像。 几何光学中，一般是利用旋转对称面（如球面）作为折射面，而在电镜成像系统中，是利用旋转对称的电、磁场产生的等位面作为折射面。 可以引入一系列的几何光学参量（如焦点、焦距）来表征电子透镜对电子射线的聚焦成像作用。 电磁透镜 静电透镜（早期使用） 磁透镜 磁透镜与光学透镜的比较 静电透镜 与一定形状的光学介质界面可以使光线聚焦成象相似，一定形状的等电位曲面簇也可使电子束聚焦成象，产生这种旋转对称等电位曲面簇的电极装置称为静电透镜。 静电透镜多用于早期的电子显微镜中。 磁透镜 在电子光学系统中用于使电子束聚焦成象的磁场是非匀强磁场面，其等磁位面形状与静电透镜的等电位面或光学玻璃透镜的界面相似。 旋转对称的磁场对电子束有聚焦成象作用 磁透镜 由于静电透镜从性能上不如电磁透镜，所以在目前研制的电子显微镜中大都采用电磁透镜，较广泛的为极靴磁透镜。 它由一个铁壳（A），一个螺旋管线圈（B）和一对中间嵌有黄铜的极靴（C）组成的 。 分辨本领与像差 4.3 电子与固体物质的相互作用 X射线衍射分析是以