镀膜真空术语全集(中英文对照)资料.doc

镀膜真空术语全集（中英文对照） 5.分压真空计（分压分析器） 5-1.射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：??5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer：??5-3.单极质谱仪momopole mass spectrometer： 5-4.双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：??5-5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：??5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：??5-7.回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：??5-8.飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：??6.真空计校准 6-1.标准真空计reference gauges：??6-2.校准系统system of calibration：??6-3.校准系数K calibration coefficient：??6-4.压缩计法meleod gauge method：??6-5.膨胀法expansion method：??6-6.流导法fl