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欢迎访问广东量晶光电 -- 您的LED外延片和芯片伙伴 ！ Welcome to Quantum Wafer Inc. -- Your Partner for LED Wafers and Chips in China ! 量 晶 Quantum Wafer ? ~ ~ * 量晶 Quantum Wafer 欢迎访问广东量晶光电 -- 您的LED外延片和芯片伙伴 ！ Welcome to Quantum Wafer Inc. -- Your Partner for LED Wafers and Chips in China ! ? ~ ~ 联络方式 地址：广东省佛山市南海区平洲 金谷光电社区A楼 电话：07578016 传真：0757邮箱：sales@ * 1期 2010－2011 公司建设 2期 2012－2013 年营业额 2 －3 亿 3期 2013－2015 年营业额 8－12 亿 低功率（20mA）高端产品 主要用于电视背光源和室内商业照明 大功率（350mA/1W) 中高端产品 主要用于室内和室外照明 欢迎访问广东量晶光电 -- 您的LED外延片和芯片伙伴 ！ Welcome to Quantum Wafer Inc. -- Your Partner for LED Wafers and Chips in China ! 量 晶 Quantum Wafer ? ~ ~ 企业战略 * Wafer Epitaxy 外延 Wafer Fab (LED Chip) 芯片 Packaging 封装 Raw Materials 原材料 Substrates 衬底材料 MOCVD设备 Applications 应用 Quantum Wafer Inc. 量晶 (上游／中游) Down Stream 下游 Down Stream 下游 LED芯片生产流程 欢迎访问广东量晶光电 -- 您的LED外延片和芯片伙伴 ！ Welcome to Quantum Wafer Inc. -- Your Partner for LED Wafers and Chips in China ! 量 晶 Quantum Wafer ? ~ ~ * 外延设计-Wafer Structure Design 欢迎访问广东量晶光电 -- 您的LED外延片和芯片伙伴 ！ Welcome to Quantum Wafer Inc. -- Your Partner for LED Wafers and Chips in China ! 量 晶 Quantum Wafer ? ~ ~ p-GaN p-AlGaN nucleation layer n-GaN Sapphire(蓝宝石衬底) MQB U e- e- e- 光电转换效应 Valence band Eg Ec Ev Energy conduction band InGaN/GaN MQWs QW MOCVD * Group III M.O. sources MFC Vent line NH3 SiH4 M.O. run line NH3 run line TMGa TMIn TMAl CP2Mg … … … … 3 way valves Simplified Deposition Chemistry (CH3)3Ga + NH3 GaN +3 CH4 (CH3)3Ga + (CH3)3In + NH3 GaInN + 6 CH4 (CH3)3Ga + (CH3)3Al + NH3 GaAlN + 6 CH4 * 外延生长原理-Epigrowth Mechanism 欢迎访问广东量晶光电 -- 您的LED外延片和芯片伙伴 ！ Welcome to Quantum Wafer Inc. -- Your Partner for LED Wafers and Chips in China ! 量 晶 Quantum Wafer ? ~ ~ NH3 = DIffusion TMGa Adsorption NH2 Boundary Layer Addust Formation TMAI-NH3 Diffusion Pyrolysis Surface Reactions Desorption = = H Sapphire Substrate Ga(CH3)3 = CH3 外延片制造过程 置入蓝宝石衬底 高温清洁 通入反应气体: 有机金属, 氨气, 氢气, 氮气 成长GaN缓冲层 成长N型GaN 成长发光层MQ