分子泵原理详解.ppt

* 对于分子泵的转子部分全部由涡轮叶片组成的份子泵，即定义为涡轮分子泵。 其涡轮部分是由一整快金属材料经数控机床加工而成。 * 牵引 分 子 泵 简称：MDP。 转子特性：多头螺纹沟道状。 * 复合分子泵 简称：CMP——compound molecular pump. 转子特性:涡轮分子泵与牵引泵的组合。 * 磁悬浮分子泵：泵的转动轴承以磁悬浮形式为主。当泵的主体通电后，首先是轴承部产生磁悬浮力，将泵的转子浮起。而后是转子部的回旋加速，直至额定转速。此类泵不需要做定期的维护保养。只要保持泵的运行环境稳定，可长期使用。 机械轴承分子泵：泵的转动轴承以陶瓷轴承为主。当泵的主体通电后，转子部即开始回旋加速，直至额定转速。此类泵因使用环境的不同，需要按一定的周期做维护保养，主要维护内容是轴承部的guease up和轴承的更换等。 * * * 本图取至于PHO装置的EBARA—ET1600分子泵。各部分功能 如下： 1.主轴——带动整个分子泵的转子旋转。 2.动片——分子泵转子上的叶片。 3.静片——通过静片固定环固定在两层动片之间，不 随动片转 动的叶片。 4.外壳——泵的压力保持圈。 5.辅助轴承——在分子泵中也称假轴承。通常每个分子泵的主 轴上都在前后两头安装有辅助轴承。其目的是保护磁悬浮轴 承不受 损伤；以及承受在突然掉电时能起到保护主轴的作用。 不同厂家的分子泵，其轴承部的“冲击性”各不相同。 6.高频转动马达——由环行线圈，通过环氧树脂浇注而。成根 据power supply提供的电源频率驱动转子加速转动。 7.下部磁悬浮电极——控制转子定片与动片间的间隙。 * ET1600分子泵内部分解图。 A.动片与静片位置图 B.转子图。 C.转子进观图. D.安装有静片固定圈（去除外壳）的泵内部图。 * 各部单元作用 电源装置：亦称分子泵控制器，主要提供泵体运行电源以及根据泵体内部各路sensor的检测信号提供各伺伏电极的驱动电流。 磁性轴承电缆：连接泵的主体以及控制器之间的cable. 泵本体：根据power supply提供的电信号转动。 * * 在大气压状态下，气体分子是几乎在原地振动。其分子的平均自由程——无阻挡运行距离，仅为0.07微米。 * 随着真空度的提高，单位体积内气体分子的数量逐渐减少，MFP变大。当真空度达到1X10 ˉ3Torr之后，其MFP接近5cm.气体分子呈现出“分子流状态” * 图示：阔散到分子泵入口处的气体分子遇到高速旋转的分子泵叶片后，气体分子受分子泵叶片的作用被加速，并且按静翼的方向向下一级动翼运动。由此逐级加速，直到此气体分子被排出真空腔体为止。 * 分子泵转子转动特性平面展开图： a.高速运行的气体分子被动片撞击后改变原运行线路，沿定片槽向下一级定片运行。 b.在下一级动片被弹回的气体分子受上一级定片的作用又被弹回下一级动片。 * 图示分子泵各级转子叶片与主轴间?角度与叶片级数之间的关系。 * 图示：在含有deposition的工艺剩余气体流经分子泵时，随着时间的推移，部分生成物会淀积分子泵叶片的表面，在各级动片与定片中淀积物的数量分布为从上到下，成级数减少。同时在定片固定圈与泵体外圈之间会有大量的生成物堆积。 在DRP104 B-CH 泵内生成物的分析中发现：在SEP2203分子泵的9级动片中，其deposition基本上都集中在第一、二级；在第三级只发现少量的片状生成物。以后各级基本上没再发现有deposition的存在。 * 分子泵的5轴控自原理图： 水平方向：X1——Y1 平面 X2——Y2 平面以上各平面均4个sensor控制其平面内轴 的晃动量。以精工的STP系列分子泵为列，出厂时其动平衡的晃动量控制在〈5? 的范围之内。在运行中由于环境的改变，尤其 是叶片表层以及磁悬浮马达内部吸附了一定 质量的 particle；同时泵的转子受到多次气流的撞击后，动平衡的晃动量会逐渐加大。当晃动量大于达60 ?之后泵的控制器会有warning产生（此时泵还能转动，但泵的内部memory会记录其warning的次数）；当warning超过120（控制器内的设定值）次之后，泵将会自锁，不再能开动。当晃动量大于达100 ?之后泵的控制器会给出alarm的信号，泵将不能启动。附精工的SEP-xxx2型分子泵，其记录泵内部warning信息的memory在控制器内； SEP-xxx3型分子泵其memory在泵的本体内部。 垂直方向：Z平面 此平面有一个磁感应sensor