3.1电子光学基础(精简版)2探究.ppt

* 可见光由于其波动特性会发生衍射，因而光束不能无限聚焦。 * * 二、电子在电场中的运动与静电透镜 1. 电子在静电场中的运动 2. 静电透镜 * * 1.电子在静电场中的运动 电场加速作用： 加速电压大小决定电子运动的速度！ 当电子运动方向与电场方向不在一条直线上，电场力的作用不仅改变电子运动的能量，而且也改变电子的运动方向 折射作用： 初速度为0，零电位--→V电位 ——电场使运动电子发生折射 * * V1 θ γ V2 A B v2 v1 * * 2. 静电透镜 二极式 三极式 与一定形状的光学介质界面（如玻璃凸透镜的旋转对称弯曲折射界面）可以使光线聚焦成像相似， 一定形状的等电位曲面簇也可使电子束聚焦成像。 产生这种旋转对称等电位曲面簇的电极装置即为静电透镜。 * * 阴极尖端附近的自由电子在阳极作用下获得加速度； 控制极附近的电场(推着电子)对电子起会聚作用； 阳极附近的电场对电子有“拉”作用，即有发散作用，但因这时电子的速度很大，所以发散作用较小。 静电透镜结构——由电极组成 ● 阴极: 零电位 ● 阳极: 正电位 ● 控制极: 负电位 * * 静电透镜——结论 会聚作用：静电透镜总是会聚透镜； 静电透镜的局限性：静电透镜需要强电场，在镜筒内容易导致击穿和弧光放电：因此电场强度不能太高，静电透镜焦距较长，不能很好的矫正球差； 应用：主要用于电子枪中，使电子束会聚成形。 * * 三、电子在磁场中的运动与磁透镜 1. 电子在磁场中的运动 2. 磁透镜 3. 磁透镜与光学透镜的比较 4. 磁透镜与静电透镜的比较 * * 电子在磁场中运动，受到磁场的作用力—洛仑兹力(左手定则)： 电子在磁场中的受力和运动有以下三种情况： 平行：电子不受磁场影响； 垂直：电子在与磁场垂直的平面做匀速圆周运动； 交角θ：电子运动轨迹是一螺旋线。 1. 电子在磁场中的运动 * * 2. 磁透镜 短线圈磁透镜 包壳磁透镜 极靴磁透镜 特殊磁透镜 例如：轴对称磁场系统(通电流的圆柱形线圈) 旋转对称的磁场对电子束有聚焦作用，产生这种旋转对称磁场的线圈装置称为磁透镜。 * * （1）短磁透镜 磁场沿轴延伸的范围远小于焦距的透镜，称短磁透镜。 通电流的短线圈及带有铁壳的线圈都可以形成短磁透镜： 短线圈磁透镜 包壳磁透镜 * * 对于短磁透镜： f0，表明磁透镜总是会聚透镜。 焦距f与加速电压U有关，加速电压不稳定将使图象不清晰。 f ∝1 / I2：表明当励磁电流稍有变化时，焦距f 变化。 p为物距，q为像距，f为透镜的焦距； K是与透镜结构有关的常数(A0)； U是加速电压；IN为透镜线包的安匝数；R为线包的半径。 * * （2） 极靴磁透镜 极靴磁透镜是在包壳磁透镜中再增加一组特殊形状的极靴。 一组极靴由具有同轴圆孔的上下极靴和连接筒组成。 常用的极靴材料：Fe-Co合金，Fe-Co-Ni合金 特点：极靴附近磁场很强，对电子的折射能力大， 可以使透镜的 f 变得更短。 * * 3. 磁透镜与光学透镜的比较 ③ 磁透镜场深大（200~2000nm）；焦深长（80cm） f与（IN）2成反比 ② 磁透镜是 可变焦距 和 可变倍率 透镜 ① 磁透镜对电子有旋转作用，所得到的电子光学像相对于物来说旋转了一个角度——磁转角 * * 现代电子显微镜中几乎都采用磁透镜，用于使电子束聚焦、成像。其主要原因有两点： 静电透镜要求高电压，但高压总是危险的！ 磁透镜的焦距可以做得很短，可获得较高的放大倍数和较小的球差。 4. 磁透镜与静电透镜的比较 * * 上面讨论的电子透镜的聚焦成像问题有限制条件，即假定： 磁场分布具有理想的轴对称性 轨迹满足旁轴条件 电子波的波长(速度)相同 实际情况与理想条件偏离，造成电子透镜各种像差 像差的存在，影响图像的清晰度和真实性，决定了透镜只具有一定的分辨本领，从而限制了电子显微镜的分辨能力。 电子透镜的缺陷 四、电磁透镜的像差和理论分辨力 * * 像 差： 图像模糊不清 像与物的几何形状不完全相似 导 致 球差 色差 像散 畸变 物面上一点散射出电子束，不能全部会聚在一点 物面上的各点不按比例成像于同一平面 四、电磁透镜的像差和理论分辨力 * * 是由于电磁透镜磁场的近轴区和远轴区对电子束的会聚能力不同而造成的。 假设张角最大电子的像落在P点, 张角最小电子的像落在P点, 透镜光阑有一定大小 同是P点发出的电子 当张角不同时, 落在不同点上 透镜 光阑 1.球 差