ATLASBarrelSCTmoduleの位置精度および平面度测定精选.pptVIP

* 新間 秀一, 加藤 陽一, 秋元 崇, 原 和彦（筑波） 中野 逸夫, 田中 礼三郎（岡山） 高嶋 隆一（京都教育） 海野 義信, 高力 孝, 近藤 敬比古, 寺田 進, 池上 陽一, 氏家 宣彦（高エ研） 岩田 洋世, 大杉 節（広島） ATLAS Barrel SCT module の位置精度および平面度測定 アトラスシリコン　Ⅱ 1. 測定目的　ー 何故, 位置精度および平面度が必要か？ ー 2. 測定装置 3. 測定方法 4. 位置精度を記述するパラメータ 5. 位置精度結果 6. 平面度を記述するパラメータ 7. 平面度結果 8. まとめ 1. 目的 (何故, 位置測定や平面度測定が必要か？） 位置測定, 平面度測定はモジュールQA (Quality Assurance)の一つであり, モジュール組み立ての精度要求を満たすかチェックする . モジュールQAの流れ 当座は‥‥　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １）モジュール組立の精度の測定 ２）QAサイクル中の変動量の測定 組立 温度サイクル バーンイン 測定 測定 測定 1. 目的（つづき） 位置精度‥ 荷電粒子の飛跡の再構成の精度はシリコン 　センサーの位置分解能（23 um）により決まる. 　　　　 この位置分解能を生かすために, 表裏センサーペアの位置 精度が, z方向に25 um, r-f方向に 5 umであることを要求する. 平面精度 ‥モジュールのバレル シリンダーへ据え付けは下図のように10度の角度をつける. バレルシリンダー z方向断面図 位置分解能 (23 um)の精度を保つために, r-f 方向で8 um 以下のずれであることが要求される. したがって10度の重なり角度のため, 径方向ではx [um] だけずれると考えると, そのずれは 　　　　x = 8/sin 10° = 50 um が要求される. この量はoptimal Z max lower(upper)という量で表される. 2. 測定装置 3次元測定器 Mitutoyo Quick Vision　Pro250 測定精度 xy平面に対して1 um以下 （濃淡のパターン認識で測定） z方向に対して10 um以下 （オートフォーカスで測定） 　　　　　　　　 3次元測定器（写真） 3. 測定方法 In-Plane survey（位置精度測定） モジュールは透明なフィデューシャルのついたフレームに固定する. 各センサー６つのフィディユーシャルマークの(x,y)座標を測定. 表面については, ダウエルホールと スロットの中心座標も測定. 計 26 (x,y)座標よりパラメータを計算 Out-of-Plane survey（平面度測定） 各センサー5x5の格子点の(x,y,z)座標を測定. ※基準平面はZ1?Z3の３点がなす平面 計100 (x,y,z)座標よりパラメータを計算 4.1 位置精度を記述するパラメータ 測定された計26 (x,y) 座標より13 個のパラメータを計算 (mhx, mhy): ダウエルホールの座標 (msx, msy): ダウエルスロットの座標 (midxf, midyf): 表面センサーペアの 重心と裏面センサーペアの重心間のx方向　（ストリップに平行）, y方向（ストリップと垂直）のずれ (sepf, sepb): 表裏それぞれのセンサーペアの中心間の距離 (a1-a4): 各センサー個別の回転 half-stereo: 表面センサーペアと裏面 センサーペアがなすステレオ角の半分 (a1?a4) : 各センサー個別の回転角度 4.2 各パラメータに対する設計値と許容範囲 表センサーペアと裏センサーペアの位置関係を表すmidy の許容範囲が最も厳しい. 5.1 位置精度結果 測定した(x,y)座標よりパラメータを計算した. モジュールの位置精度のパラメータのうち重要であるmidyf, half-stereo, a1?a4の分布を示す. 2つのモジュールが最も重要であるパラメータmidyfのtoleranceを超えてしまっている. midyfのtoleranceを超えているモジュールは角度についてのtoleranceも超える傾向にある. Before Temperature Cycle 5.2 測定結果 （QAサイクルによる変動量） 右図はヒートサイクルを行ったことによるパラメータの変動量である. 多くのパラメータはヒートサイクル前後で大きく変動していることが解る（バーンイン後の変化は小さい）. と