第七章__激光扫描技术.pptVIP

一、测量原理：（图7-16） 计量激光光斑扫描待测物体时所经过的时间T，从而得出被测物的几何尺寸的一种测试技术，即：d=VT §7-3 激光扫描测径系统 图7-16 * *对光学系统的要求 1、扫描主光线∥光轴——即采用远心扫描系统 2、在测量面上扫描光点的扫描速度恒定，即V=常数 设转镜角速度为w 上式中：v和t为非线性关系，欲使v与t为线性关系，即满足 ，则可将扫描物镜设计成f-θ透镜。 * 此时，测径方程为： 式中：N——计数器所计脉冲个数， fT——晶振频率，（次/秒）， *采取的措施： （1）设计f-θ透镜，使物镜产生一负畸变来补偿原扫描系统的非线性。 （2）转镜转速n0恒定 3、时间T计量的准确性： （1）光电瞄准误差（工件边缘提取的准确性）： * 图7-17 如图7-17，若用固定电压V0比较，则会因扫描光能量的变化而导致产生光电瞒准误差。解决办法：“浮动阈值法”。 * 二、激光扫描测径光学系统 1、会聚光斑扫描（图7-18） 图7-18 * 2、平行光扫描（图7-19） 图7-19 * 注意两个问题： （1）入瞳漂移问题：图7-18和图7-19所示系统具有较小的入瞳漂移量。 （2）实际相对孔径： 四、设计中几个问题的讨论 1、最小脉冲当量δ δ的确定：一般取测量精度的 , 如测量精度为20μ，则δ=4~2μ。 * 由测径公式： 则脉冲当量为： 例：设n=1500秒/分=25转/秒，?′=145mm 若取δ=2.5×10-3 MM 实际中取晶振频率为：fT=18.432MHz， 2、多面转镜的面数m 由确定的电机转速n和测量频率fN定 即fN=n·m，设fN=200次/秒，n=25转/秒 则m=fN/n=200/25=8（面体） * 3、工件振动对测量精度的影响：（图7-20） 图7-20 设工件振动为简谐振动，振幅为A，振动频率为ν 则振动方程： 其速度方程为： * 扫描光点与振动工件的相对扫描速度为： 其中：V0为光点恒扫描速度， 则此时工件的实际测量尺寸为： 其中D0为工件无振动时所测值，ΔD为工件振动带来的附加测量误差值，其最大测量误差值ΔDmax发生在Vzmax处。 令速度方程中Cos2πυt=1（在平恒位置t=0处） * 最大测量误差 结论（1）：ΔDmax与A，ν，D成正比 与n0， ?′成反比 例： n0=25转/sec， ?′ =145mm * 结论（2）：当有振动存在时，单次测量精度是不高的，但可以采用取多次测量平均面的方法，提高测量精度。此时平均扫描时间T0为： 其中：N为0.1sec内取各次测量值平均值后，再显示的测量次数。即N: 0.1sec/To 此时显示一次的测量误差为： 以上分析表明，振动是影响动态测量精度的最大原始误差。 措施：加限振器。 * 工件表面特征：疵病，表面异物，形状不良 测量技术特点：迅速，实时，漏检率低 按原理分三大类： 1、反射光检测法 2、散射光检测法 3、扫描频谱法 一、反射检测法 测量对象： （1）有较强反射特征的物体：如白纸、薄钢板、铜板、铝板 （2）直径0.1~1mm左右的表面缺陷 §7-4 表面特征激光扫描检测技术 * 2、激光扫描法（图7-21，b） 二、散射光扫描法 对象：漫反射表面，（如激光捉疵机） 图7-21 1、飞点扫描法（图7-21，a） a）飞点扫描 b）激光扫描 * Pretens公式：当激光束垂直入射于被测表面时，在与反射光线成α角的方向上，散射光强度为： 式中：（图7-22） 图7-22 * R0——⊥入射完全光滑表面上的反射光强 λ——入射光波的波长 δ——粗糙度值（平均均方根值），如： L——变换长度， m——倾斜α角方向上，表面光度的平均均方根值 将