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例题 例题 例题 例题 例题 * * * * * * * * * * * * * * * * §3 电阻应变传感器 电阻应变式传感器由电阻应变片和测量电路组成。电阻应变片的电阻随着机械变形（伸长或缩短）的大小而变化，再通过测量电路，把电阻应变片的电阻的变化转换成反映机械变形大小的电信号。用于测量力和与力有关的一些非电参数（如压力、荷重、扭力、加速度等）。 3.1 应变片的工作原理； 3.2应变片的种类； 3.3 应变平的技术参数； 3.4 应变片的粘贴； 3.5 测量转换电路； 3.6 集成与应用 3.1 应变片的工作原理 长度为l，截面为A，电阻率为ρ的导体或半导体的电阻为 设导体在拉力的作用下，l、A、ρ分别变化dl 、dA、 dρ，R的变化dR，可对上式两边取对数再微分求得，即 右边第一项反映导体长度变化引起的电阻变化，第二项反映导体截面变化引起的电阻变化，第三项反映导体电阻率变化引起的电阻变化。 3.2 应变片的种类 1、金属电阻应变片 ⑴结构 基本结构见右图。图中，l 称为应变片的标距或称为工作基长；b称为应变片的工作宽度。 导体的电阻随着它所受机械变形（伸长或缩短）的大小而发生变化的现象，称为导体的应变效应。这是电阻应变片工作的基础。 3.2 应变片的种类 1、金属电阻应变片 ⑵种类和性能 丝式：常采用直径0.025mm的高电阻率金属丝制成。精度高，测量范围大，性能稳定。 箔式：采用光刻、腐蚀等工艺成，箔栅厚度0.003~0.01mm。散热好，蠕变小，额定电流大，可制成各种所需的形状，便于批量生产。 薄膜式：采用蒸镀、沉淀等方法在绝缘基片上形成金属薄膜而制成。灵敏度高，额定电流大，工作范围广，便于工业化生产。 3.2 应变片的种类 1、金属电阻应变片 ⑶基本关系式 直径为D的材料，由A=πD2/4可得 由材料力学可知 式中： 为纵向应变； 为横向应变；μ为材料的泊松系数 由上述关系可得 令ε= dl/l，则 右边第一项反映导体长度变化引起的电阻变化，第二项反映导体截面变化引起的电阻变化，第三项反映导体电阻率变化引起的电阻变化。 金属应变片应变后电阻率变化很小，故 式中：k称为应变片的灵敏度系数。大多数金属的μ值在0.3~0.5之间，故k值在1.6~2.0之间。 3.2 应变片的种类 2、半导体电阻应变片 根据压电效应原理工作。结构见右图。 应变后阻值的变化主要由电阻率的变化所引起，故 式中：πr为半导体的压阻系数；E为半导体的弹性模量；k=πrE称为应变片的灵敏度系数,很高，可达100多。 ⑴结构 3.2 应变片的种类 3.2 应变片的种类 2、半导体电阻应变片 ⑵性能 最大的优点是灵敏度高。缺点是非线性严重，热稳定性差。但目前采用集成电路工艺制成的半导体应变片，内设非线性补偿和温度补偿电路，具有广泛的应用前景。 3.3 应变片的主要技术参数 标称阻值R0：未受应力时的阻值。 60Ω、120Ω、200Ω、350Ω、500Ω、1000Ω几种。 绝缘电阻RC：敏感栅与基片之间的电阻值，一般应大于10 MΩ。 灵敏系数( k):在其轴线方向上的应力作用下，应变片电阻值相对变化dR/R与应变?比。 应变极限?m:dR/R最大允许值，一般规定为10%。 允许电流(IN):应变片允许通过的最大电流。由此可求得UN=INR0，PN=IN2R0。 机械滞后：温度一定时，在增加或减少机械应变过程中约定应变之间的差值。 蠕变：粘贴好的应变片，在温度一定时，阻值随时间变化的变化量。 零漂：温度一定，且无机械应变时，阻值随时间在R0左右变化的变化量。 3.4 应变片的粘贴 具体要求如下： 1. 试件的表面处理 2. 确定贴片位置在应变片上标出敏感栅的纵、横向中心线上。 3. 粘贴应变片 4. 固化处理 5. 引出线的