静电防护管理规范最新版课稿.doc

文件修订履历 版次 V0 V1 V1.1 V1.2 V1.3 V2 V2.1 V2.2 V2.3 V2.4 V2.5 V2.6 V3.0 部门 CS部 有√ √ 份数 1 1 目的 防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使ESD防护工作具有较强的可操作性。 2 适用范围 从静电敏感器件进货到产品形成的全过程 3 定义 3．1静电放电（ESD） 处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。 3．2静电敏感器件（ESDS） 在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。 3．3静电的发生及带电 3．3．1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒， 由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。 3．3．2静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。 3．3．2．1接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm 时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷 3．3．2．2感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷 3．3．2．3剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电 3．3．2．4摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移 3．3．3静电的危害 3．3．3.1对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。 3．3．3.2对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。 3．4绝缘体与导体 3．4.1绝缘体 绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1011Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。 如：普通塑料制品、乙烯等 3．4．2导静电体 导体一般表面电阻率≥102 Ω和＜105Ω范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。 3．5防静电材料定义 3.5.1根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。 静电绝缘材料：表面电阻率≥1011Ω； 静电耗散材料：表面电阻率≥105Ω和＜1011Ω； 静电导电材料：表面电阻率≥102Ω和＜105Ω； 静电屏蔽材料：表面电阻率＜102Ω； 3.5.2 ESD防护项目的表面电阻的要求 工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表面电阻为104 — 1010Ω； 包装材料（如：胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等）的表面电阻为：105≤R＜1011Ω。 3．6静电发生源 3．6．1 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。 3．6．2 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。 3．6．3 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。 表1 常见物体的静电发生序列 序号 材料 序号 材料 1 空气 12 棉布 2 人手 13 钢 3 兔毛 14 木材 4 玻璃 15 琥珀 5 云母 16 硬橡胶 6 头发 17 镍、铜 7 尼龙 18 黄铜、银 8 羊毛 19 聚脂人造纤维 9 丝绸 20 聚乙烯 10 铝 21 聚丙烯 11 纸 22 聚氯乙烯