电涡流传感器铜膜测厚电路设计精编.docVIP

任务书 课程 传感器课程设计 题目 电涡流传感器应用电路设计 专业 姓名 学号 主要内容： 利用电磁感应的原理,以高频反射式电涡流传感器为基础,将LC电路产生的正弦电磁波辐射至铜膜。在铜膜上产生电涡流,从而引起辐射线圈电阻抗的变化,损耗增加,振荡号幅值随之衰落。通过单片机对信号幅值进A/D转换,数据处理,指示铜膜的厚度。 基本要求： 声设计一种按照技术要求，提出自己的设计方案（多种）并进行比较[1] 高晓蓉.传感器技术[M].成都：西南交通大学出版社，2003. [2] 黄贤武，郑筱霞.传感器原理与应用[M].北京：电子科技大学出版社，2004. [3] 徐科军.传感器与检测技术[M].北京：电子工业出版社，2008. [4] 李成华.现代检测技术[M].北京：中国农业大学出版社，2001. 完成期限 2013.7.12—2013.7.16 指导教师 专业负责人 2013年 7 月 12 日 摘 要 设计针对于PCB板的铜膜厚度进行测量。利用电磁感应的原理,以高频反射式电涡流传感器为基础,将LC电路产生的正弦电磁波辐射至铜膜。在铜膜上产生电涡流, 在交变磁场中，不同厚度金属导体内的涡流对传感器探头内线圈具有不同程度的阻抗反射作用，从而引起辐射线圈电阻抗的变化,损耗增加,振荡号幅值随之衰落。通过单片机对信号幅值进行A/D转换,数据处理,指示铜膜的厚度。所设计的装置体积小,携带方便,对铜膜检测的灵敏度较高,可以有效测量10～150μm,也可应用于其他金属镀层厚度的测量。 关键词：电涡流；铜膜厚度；幅度；电磁感应 目 录 一、设计要求 1 二、设计方案及其特点 1 1、方案一 1 2、方案二 1 三、传感器工作原理 2 1、电涡流传感器工作原理 2 2、电涡流传感器等效电路 2 四、铜膜测厚电路图及其工作原理 4 1、电路图 4 2、电路工作原理 4 五、铜膜测厚电路的单元电路设计、参数计算、器件选择 5 1、单元电路设计 5 2、参数计算 6 3、元器件清单 7 六、总结 8 参考文献 9 铜膜测厚电路设计 一、设计要求 敷铜板作为电子行业的基本材料,其敷铜厚度对某些电子产品的质量有重要影响。而目前生产厂家所生产的敷铜板的铜膜厚度相差较大,有的为了省成本,铜膜厚度越来越薄,严重影响了相应电子产品的可靠性。敷铜板上铜膜厚度的测量一般不能使用卡尺类测量工具,因镀层厚度很薄,也不能采用超声波测量。对这类金属镀层厚度进行测量,常常采用电涡流测量模式。 二、设计方案及其特点 针对传统的接触式测量技术在实际应用中的不足，介绍电涡流传感器的设计方案。该方案采用电涡流技术将非电量的位移信息转化为电压信号。通过对电涡流传感器的结构和工作原理的分析，设计了两种典型电涡流传感器的测量电路。 1、方案1 所示。振荡器产生的高频振荡电流经过功率放大器放大后送给交流电桥，当材料表面有膜是时，将使线圈阻抗变化，从而破坏电桥平衡，电桥不平衡电压信号输出，经过放大、检波以后，其输出信号就反映了被测量的变化。 图1 方案一原理框图 方案二：探头接近被测材料，将使线圈的电感值发生变化，直接检测电感变化的方法为电感测试法或调频测试法。其原理框图如图2所示。将传感线圈接入振荡回路，当位移变化时，传感线圈的L值相应的也发生变化，从而引起振荡器振荡频率的变化，通过F/V转换器进行解，将频率的变化转换为电压的变化。但由于频率与位移之间的非线性关系，还需加线性化器矫正其非线性特性。 图2 方案二原理框图 2、方案 三、传感器工作原理 1、电涡流传感器工作原理 根据法拉第电磁感应定律，当传感器探头线圈通以正弦交变电流i1时，线圈周围空间必然产生正弦交变磁场H1，它使置于此磁场中的被测金属导体表面产生感应电流，即电涡流，如图3中所示。与此同时，电涡流i2又产生新的交变磁场H2；H2与H1方向相反，并力图削弱H1，从而导致探头线圈的等效电阻相应地发生变化。其变化程度取决于被测金属导体的电阻率ρ，磁导率μ，线圈与金属导体的距离x，以及线圈激励电流的频率f等参数。如果只改变上述参数中的一个，而其余参数保持不变，则阻抗Z就成为这个变化参数的单值函数，从而确定该参数的大小。电涡流传感器的工作原理，如图3所示。 2、电