光电技术第7章2节详解.ppt

光电信号的变换方法 7.3 几何光学方法的光电信息变换 7.3.1 长、宽尺寸信息的光电变换 7.4 物理光学方法的光电信息变换 7.4.1 干涉方法的光电信息变换 2 单频光相干的条纹检测 7.4.2 衍射方法的光电信息变换 2 夫琅和费细丝衍射 * * 将目标或工件的长、宽等尺寸信息转变为光电信息的方法有投影放大法，激光三角测量法，光学灵敏杠杆测量法，激光扫描测量法和差动测量法等。 ⒋ 激光扫描法 激光扫描法是1972年发展起来的一种技术。现在已经有很多不同型号的仪器产品。 激光束经过透镜1后被反射镜反射，由于同步位相马达的转动而形成扫描光束。扫描光束经过透镜1后变成平行的扫描光束，平行扫描光在扫描过程中被工件遮挡，光束经过透镜2后被位于焦平面上的探测器D接收，得到一个随时间变化的光电信号。再经过后续的信号处理电路(主要包括信号放大电路、边缘检出电路、计数电路等)，就可以得出工件直径的测量值。 由于同步马达是匀速转动的，转速为ωm，所以平行扫描光束的扫描角速度为ωL＝2ωm，则光扫描的线速度为 (7-46) 式中f为透镜l的焦距。若在扫描光束被遮挡的时间t内计数器的计数为n，晶振的时钟频率为v0，分频数为N ；则被测工件直径的计算式为 根据计数器记录的工件挡光时间内的时钟脉冲数，就可以求得工件的直径。非接触测量和可以测量运动着的物体是激光扫描法的优点，其缺点是量程受透镜尺寸的限制，且存在非线性的原理测量误差，需要校正或采用特殊设计的透镜补偿。 (7-47) 将电机等物体的转动速度、运行速度、信息的变化速度等物理量变换成光电信号的过程称为速度信息的光电变换。能够完成速度信息的光电变换的方法有多种，其中利用光电耦合器（光电开关）、旋转光闸、频闪式转速表等方法实现的速度信息光电变换即简单又容易实现多种用途的变换。 7.3.3 速度信息的光电变换 1 光电干涉测量技术 各种干涉现象都是以光波波长为基准，与形成它的外部几何参数包括长度、距离、角度、面形、微位移、运动方向和速度、传输介质等存在着严格的内在联系。利用光电方法对光波的各种干涉现象进行检测和处理，最后解算出被测几何和物理参量的技术称为光电干涉测量技术。 从信息处理的角度来看，干涉测量实质上是待测信息对光频载波的调制和解调的过程。各种类型的干涉仪器或干涉装置是光频波的调制器和解调器。我们用最常见的干涉仪来说明这个模型。图7-30所示为它的结构配制和信息流程。就其信息传递的实质而言，实际的干涉仪结构和工作过程可以用下列方式描述。干涉仪中的激光源是相干光载波的信号发生器，它产生振幅为A，频率为 ，初相位为 的载波信号，用 表示。 在测量臂中 　受到待测位移信号 　　的相位调制。形成 的调相信号。待测信息为运动速度 　。产生的调频信号为 这样测量臂起到信号调制器的作用。 r o 图样或确定光拍频率的输出信号。 已调制光频波在干涉物上和来自参考臂的参考光波相干涉，呈现出具有稳定的干涉 这个信号消除了光频载波的影响，以干涉条纹的相位分布或光拍的时间性变化表征出被测量的变化。因此这被看作是光学解调制的过程。 干涉测量的调制和解调过程可以是时间性的，也可以是空间性的。根据调制的方式不同，形成了各种类型的光学图样。这种以光波的时空相干性为基础，受被测信息调制的光波时空变换称作相干光学信息。它的形成和检测过程就是光载波受待测信息调制和已调制光波解调再现为信息的过程。根据相干光学信息的时空状态和调制方式，可以分为：局部空间的一维时间调制的光信号和在二维空间内时间或空间调制光信号。 （3）干涉条纹跟踪法 干涉条纹跟踪法为平衡测量的方法。在干涉仪测量镜位置变化时，通过光电器件实时 地检测出干涉条纹的变化。同时利用控制系统使参考镜沿相应方向移动，以维持干涉条纹保持静止不动。这时，根据参考镜位移驱动电压的大小可以直接得到测量镜的位移。图7-34所示为利用这种原理测量微小位移的干涉测量装置。 3 双频激光干涉系统（以光学多普勒差频检测为例） --- 信噪比高，抗干扰能力强，大位移测量（200m以上） 光学多普勒频移 参考信号 1、夫琅和费单缝衍射 其光强分布为： 对各级暗纹： 即 对各级暗纹： 式中： 即： P点干涉条纹的亮暗由BC值决定，用数学式表示如下： 特点： （1）各暗纹间隔相等，亮纹间隔不相等。 （2）主极大宽度为相临暗纹间隔的二倍。 当狭缝宽度b变小时，衍射条纹将对称于中心亮点向两边扩展，条纹间距增大。激光衍射图样明亮清晰，衍射级次可以很高。 若屏幕离开狭缝的距离