光电传感与检测第五章讲解.ppt

* 一、激光概述 1、 激光是利用外部能源激励物质，使其发生受激辐 射而产生的一种特殊的光。 2 、工作物质: 任何光学透明的固体、液体、气体 3 、激励能源: 光源、电源、热源、化学能源 4 、光学谐振腔 光学谐振腔 使某一方向、某一频率的辐射不断得到加强，其它方向、其它频率的辐射受到抑制的装置. 全反射镜M1 部分反射镜M2 激光 工作物质 作用 选择激光的方向 选择激光的频率 激励能源 He-Ne激光器的工作原理 激光器的基本构成及激光的形成 具有亚稳态能级结构的工作物质、激励系统和光学谐振腔 光束在谐振腔内来回震荡，在工作物质中的传播使光得以放大，并输出激光。 反射镜 反射镜 阳极 阴极 布儒斯特窗 毛细管 工作物质：氦气 辅助物质：氖气 激励方式：直流气体放电 二、激光的特点 1、 方向性好 2 、亮度高 3 、单色性好 4 、相干性好 2公里 三、激光的种类 1、 固体激光器 2 、气体激光器 3 、液体激光器 4 、半导体激光器 四、激光的应用 1、激光测长 2 、激光测距:发射激光信号，然后利用接收器接收到激光回波，通过计时器计算时间差测量目标距离. 3 、激光测振 4 、激光测速 5 、激光雷达: 电磁波照射目标并接收回波的方法. 范围：0.2 ~ 300m 分辨力： 3mm 德国俫卡手持式： 范围：0.2 ~ 200m 分辨力：0.2mm 美国bushwell 单目军用 范围：1000m 分辨力：1m 被测光学元件的表面形貌图 用PZT的Twyman-Green 干涉仪 激光干涉位移传感器 激光面形测量仪 激光测长干涉仪 激光面形测量仪 激光平面干涉仪 基于激光平面干涉技术的元件面形偏差检测系统设计 1. 光学元件面形偏差检测 干涉图干涉条纹顺序的辨识 ①均值法，该法将每一象素点的灰度值设置为该点邻域窗口内的所有象素点灰度值的平均值(或加权平均值)，所采用的窗口大小一般为3×3、5×5、7×7……，实际运用中，根据条纹走向采用灵活的窗口大小，往往可得到比较理想的结果； ②中值滤波法，该法是一种非线性平滑技术，它将每一象素点的灰度值设置为该点邻域窗口内的所有象素点灰度值的中值，中值滤波法对消除椒盐噪音非常有效，在光学测量条纹图像的相位分析处理方法中有着特殊的作用，但在条纹中心分析方法中作用不大； 滤波 干涉条纹处理步骤： 1、滤波 2、求阈值 3、二值化 4、提取干涉条纹的条纹中心线 5、对条纹进行跟踪、标记 6、获取面形信息 0 0 1 1 0 0 0 0 1 1 1 0 0 1 0 1 0 0 0 1 0 1 G(i,j) 0 1 计算各条线上的灰度平均值和灰度均方差值，灰度均方差最小的方向线为条纹的切线方向，当前点的灰度值为条纹切线方向上的灰度平均值。 Gk(i, j)为在第k个方向线上的像素点， Ak(i, j) 为在第k个方向线上的灰度平均值，Dk(i, j) 为在第k个方向线上的灰度均方差值， 根据干涉条纹图像中像素的灰度值，可以通过选取一个合适灰度值作为对该图像进行二值化的阈值，然后令该图像中灰度值小于该阈值的像素取值为0，大于该阈值的像素取值为255。 对不同暗条纹上的中心点进行标识，就可标识不同条纹。最后采用曲线拟合法对这些暗条纹的中心线进行拟合。 由多元函数极值原理可知，通过求取minQ(a0，a1，a2，a3)确定系数a0，a1，a2，a3后，就可得到较平滑的、连续的暗条纹的中心线 面形偏差的定义可知：被检光学表面相对于参考光学表面的偏差称面形偏差，即光圈。 2. 激光平面干涉测量装置的设计 激光出射单元、光强调节单元、光束转向单元、光束干涉单元、光束成像单元、干涉条纹图像检测与分析单元。 3. 光学元件面形检测软件系统设计 光刻机调焦调平激光检测系统设计 光刻机调焦调平激光检测的基本原理 光刻机工作前，先通过吸盘机械手将准备曝光的硅片放置于承片台上，然后由调焦调平激光检测对该硅片进行检测，根据检测的结果控制相应的工作台动作，由该工作台对硅片表面相对于投影物镜焦平面的高度值和倾斜量进行调节，当完成对硅片调焦调平时，光刻机调焦调平激光检测系统通知硅片曝光系统对曝光区域进行曝光。光刻机调焦调平激光检测采用调焦传感器和调平传感器，将检测分为调焦传感单元和调平传感单元 . 投影光刻机的研究，发现它有两个最基本的参数，一个是分辨率R和另一个是焦深DOF(depth of focus)，它们与曝光波长、表示收集衍射光的能力的数值孔径NA、工艺因子K1和K2之间存在着一定的数学关系，即分辨率R与曝光波长和工艺因子K1成正比，而与数值孔径NA成反比，而焦深DOF与曝光波长和工艺因子K2成正比，而与数值孔径NA的平方成反比。 *