第3章 电阻式传感器程序.pptVIP

第3章能量控制型传感器 概述 基于元器件电阻变化的传感器十分常见，这是因为许多物理量（力、力矩、位移、形变、速度、加速度等）都会对材料的电阻产生影响。 电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器。 传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。 应变式传感器的灵敏度较高，目前已应用于各种检测系统中。 3.1 工作原理 电阻应变片的工作原理是基于应变效应的，即在导体产生机械变形时，它的电阻值相应发生变化。 3.1 工作原理 金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为: ρ——电阻丝的电阻率； L——电阻丝的长度； S——电阻丝的截面积。 当电阻丝受到拉力F作用时，将伸长 ，横截面积相应减小 ，电阻率将因晶格发生变形等因素而改变 ，故引起电阻值相对变化量为: 3.1 工作原理 式中 是长度相对变化量，用金属电阻丝的纵向应变（轴向应变）ε表示，ε数值一般很小，表达式为： ΔS/S为圆形电阻丝的截面积相对变化量，即： 3.1 工作原理 由材料力学可知，在弹性范围内，金属丝受拉力时，沿轴向伸长，沿径向缩短，那么轴向应变和径向应变的关系可表示为： ● μ—电阻丝材料的泊松比； ● 一般金属μ=0.3-0.5，负号表示应变方向相反。 将式(2-3)、 (2-4)、 (2-5)代入式(2-2)，可得： 3.2 电阻应变片特性 3.2.1 电阻应变片的种类 常用的应变片可分为两类：金属电阻应变片和半导体电阻应变片。 金属应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成，如图所示: 3.2 电阻应变片特性 敏感栅是应变片的核心部分，它粘贴在绝缘的基片上，其上再粘贴起保护作用的覆盖层，两端焊接引出导线。 金属电阻应变片的敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。 箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003-0.01mm。其优点是散热条件好，允许通过的电流较大，便于批量生产，可制成各种所需的形状，如下图所示： 3.2 电阻应变片特性 箔式应变片缺点是电阻分散性大。 薄膜式应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大，允许电流密度大，工作范围广。 3.2 电阻应变片特性 应变片是用粘合剂粘贴到被测件上的。 粘合剂形成的胶层必须准确迅速地将披测件的应变传进到敏感栅上。 粘合剂的性能及粘贴工艺的质量直接影响着应变片的工作特性，如滞后、灵敏系数，线性度以及它们受温度变化影响的程度。 3.2 电阻应变片特性 3.2.2 电阻丝的灵敏度系数 通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量，其表达式为: 3.2 电阻应变片特性 由定义可知灵敏度系数受两个因素影响： ●一个是受力后材料几何尺寸的变化,即 ， ●另一个是受力后材料的电阻率发生的变化，即： 。 对金属材料来说， 的值要比 大得多，即 。 对于半导体材料，灵敏度的 项的值比 大得多，即 。 大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内，电阻的相对变化与应变成正比，即 为常数。 3.2 电阻应变片特性 3.2.3 应变片的灵敏系数 当具有初始电阻值 的应变片粘贴于试件表面，试件受力引起的表面应变，将传递给应变片的敏感栅，使其产生电阻相对变化 。理论和实践表明，在一定应变范围内 与 的关系满足下式 ● 为应变片的轴向应变； ● 是应变片未经安装也不受外力的情况下，于室温测得的电阻值。 3.2 电阻应变片特性 3.2.4 应变片的其他特性 1．机械滞后、零漂和蠕变 机械滞后是指粘贴在试件上的应变计，在恒温条件下增(加载)、减(卸载)试件应变的过程中，对应同一机械应变所指示应变量(输出)之差值。 3.2 电阻应变片特性 粘贴在试件上的应变片，在温度保持恒定没有机械应变的情况下，电阻值随时间变