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2950站抛光前检验答案
抛光前检验基础知识考试
应知部分
姓名 得分： 一、填空题
1．硅单晶按照导电类型可分为 P 型和 N 型两种。
2．在生产硅单晶时，在产规中经常提及的是 ＜111＞ 和 ＜100＞ 这两种晶向。
3．1m 1000 mm；1mm 1000 um；1cm 10 mm。
4．检验时确认晶片背面朝片盒 U 面，并 U 面至 H 面逐一放置。合格片满盒后寻边使平边 向上 并盖上盒盖，然后放入周转箱。
二、选择题
1．根据右图硅片的参考面判断该硅片为（ C ）。
A、P B、P C、N D、N
2．工单颜色代表掺杂剂类别，黄色工单代表晶片掺（ D ）。
A、B B、P C、As D、Sb
3．每班作业前或更换灯泡后，需使用照度计量测灯源光强,并调整强光灯照度为（ C ）lux，荧光灯光强大于650 lux。
A、5万-10万 B、10万-20万 C、20万-22万 D、＞20万
4．接班后及每lot检查完后需用标签纸清洁真空吸笔头（ D ）次以上，直至强光灯下晶片背面无吸笔印。
A、2 B、3 C、4 D、5
5．下列缺点码中可重工的缺点码是（ A ）。
A、LTO粉尘 B、崩边 C、鸦爪 D、气孔
三、问答题
1．硅片检查步骤。
答：使用萤光灯检查。1.将晶片盒放于寻边对位器上,先使每片晶片对齐后在萤光灯下转动对位器把手,检查倒角端面和幅宽。2. 将晶片盒内晶片主平边朝上,比较每一晶片平边及直径大小,晶片若有双平边,则必须检查次平边角度是否正确。3. 检查从第一格 接近H-bar 开始，并缓慢的抽取以避免刮伤相邻晶片。 4.将晶片置于光源中，晶片与光源之间角度呈45°，并在光源下摆动晶片角度，以检查其细微之缺陷。
2．LTO色斑及腐蚀环不完全判定标准。 答：A级客户LTO色斑：直径＞1mm不允许，＜1mm不允许超过5个。 B级客户LTO色斑：直径＞1mm不允许，＜1mm不允许超过10个。 C级客户LTO色斑：a.直径＞2mm不允许；直径1~2mm允许1个。 b.直径0.5~1mm不允许超过10个。 c.直径0~0.5mm允许放行。
腐蚀环不完全：a.腐蚀环边缘成锯齿状: 宽度不允许大于1mm且连续长度超20mm。
b.彩虹区域不允许超过5mm。
c.腐蚀环上不允许有LTO残留。
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