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ALIOS利用液体中的等离子高效生产纳米粒子和酸性水 采用自主超高真空技术和等离子技术设计并制造真空设备及研发设备的日本ALIOS（总部：东京都昭岛市），开发出了利用液体中的等离子（液中等离子）制造纳米粒子和酸性水的技术（图1）。液中等离子的原料供应比真空中和气体中产生的普通等离子要丰富，因此就相同反应过程进行比较的话，液中等离子的反应速度可以更快。ALIOS准备利用高生产效率这一优点尽快实现实用化。 图1：纯水中产生的液中等离子 照射微波后，水就会分为氢和氧。红色部分是由氢原子的发光光谱产生的。液体可从纯水、溶液或污浊液中任选。ALIOS的液中等离子采用微波产生，因此被称作“微波液中等离子”。图2是试制装置。主要由输出功率为1.5kW的微波电源、波导管（Waveguide）、同轴波导管转换器以及反应容器构成。与微波炉一样从磁控管（Magnetron）发出的微波，通过波导管和同轴波导管转换器放射到液体中。于是，在微波的作用下液体中产生气相，由此产生等离子。该公司董事开发部长佐藤进表示，“与气体中相比液体中的电子运动更易传至离子，温度会迅速上升”。从“可使同轴波导管转换器顶部采用的钨融化”（佐藤进）这点来看，温度将达到3000℃左右。 图2：液中等离子的试制装置 构成比较简单。微波电源可以利用微波炉使用的电源，因此有望降低成本。 据介绍，实际生成液中等离子时，要比在真空中和气体中难很多。由于电场强度需要达到真空中的数百倍，因此ALIOS改进了同轴波导管转换器，在顶部安装了一个锥形物（Taper）（图3）。顶部越尖微波越集中，电场强度越高，越容易产生液中等离子。 图3：为产生液中等离子而采取的措施 在液体中产生等离子要远远难于在真空中和气体中。因此，ALIOS削尖了同轴波导管转换器的顶部。由此电场强度更高，从而产生液中等离子。 来源：日经BP社