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直线压电驱动器的发展研究及关键技术 摘要：直线驱动器是机电系统运行的关键，直线压电驱动器以其特有的优势在该领域迅速发展，引起广泛关注。它可实现高分辨率的运动，响应速度快、精度高，没有空回、粘滑等现象，且不发热，无噪声、无污染，控制方法简单。本文介绍了直线压电驱动器的技术特点，并对国内外的压电驱动器发展及应用情况进行详细介绍，指出了压电驱动领域的关键技术，对直线压电驱动器新一代样机的研制具有指导意义。 关键词：直线压电驱动器 尺蠖原理 箝位机构；发展现状 关键技术 中图分类号：TH112 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2014）02-0105-03 1 引言 驱动器是机电系统与自动化装备的重要器件之一，其性能直接影响系统的可靠性、可控性。随着现代科学技术的发展，各种驱动器也向着小型化、易控制化、精密化的方向发展。传统的驱动器重量较重、结构复杂、维修困难、频率响应不高，在很大程度无法满足现代机电系统的需求，因此以压电材料为代表的新型功能材料驱动器引起关注。根据压电陶瓷的逆压电效应制成的压电驱动器与其他新型驱动器相比，具有定位精度高、响应迅速、结构简单、输出力大、不发热和不受磁场影响等特性。压电驱动器大多基于尺蠖原理设计的，即通过模仿自然界中昆虫的运动，将压电元件的单步位移转换为输出机构的位移。根据运动形式，直线型压电驱动器有蠕动式、推动式和蠕动-推动式三种类型。本文将重点说明蠕动式和推动式尺蠖压电驱动器的研究现状、实现方式及关键技术。 2 蠕动式尺蠖压电驱动器 蠕动式直线尺蠖驱动器本质上更接近于自然界的尺蠖，模仿了爬虫等动物的爬行方式，即将压电叠堆的微小步距累加，可实现较大行程、高速度的双向蠕动运动，在精密驱动领域运用广泛，由箝位机构A、C、驱动机构B和导轨组成，图1为其运行原理图，采用“箝位-驱动-箝位”的方式运行，通过改变所加电压信号的时序，可实现反向运动，通过改变控制信号的频率或驱动机构B中压电叠堆的数目来控制驱动器的运行速度。这种驱动器结构简单，运行稳定，易控制，因此该类型驱动器相关样机也较多。 第一个管状蠕动型尺蠖驱动器于1968年诞生，用于精密加工中的材料定位。前苏联在1972年研制了第一个完全意义上的蠕动型尺蠖驱动器，并用于精密定位，后来的许多设计都以此为原形，图2所示，是较为典型的构型，用层叠的压电片使结构紧凑，也增加了承载能力、提高了运动速度，达到微米级的精度，运动速度最高可达每分钟几百毫米。1988年，美国首次利用柔性机构放大了压电致动器的位移，实现箝位机构的夹持作用。美国维吉尼亚州理工大学在驱动器结构中采用柔性放大机构，以此来放大中间驱动机构的步距，提高驱动器的速度，如图4，该驱动器结构较为新颖，值得借鉴。韩国也研制了一种结构新颖的驱动器，其中间结构为椭圆形，箝位机构能同时用来箝位和驱动，该驱动器实用性更强。2004年，加拿大Tenzer etal等人提出另外一种内部嵌入钳位压电叠堆和驱动压电叠堆的蠕动式尺镬型压电直线驱动器，并且在驱动器端部安装了预紧机构和传感装置，如图3，使得驱动器运动精度有了一定的提高。 国内较早研究蠕动式直线驱动器的是广东工学院机器人研究室的杨宜民教授，杨教授提出了仿生型步进式直线驱动器，驱动器由导轨、可动件、输出轴等组成，可动件左右端的抓爪上贴有摩擦材料，增加了可动件和导轨间的摩擦力，从而提高驱动器的带载能力，运行的参数为：步距0.1-16um、步距误差 0.05um、行程5-1000mm、最大输出力3500N、最快步速40step/s。2004年，吉林大学刘建芳等提出一种以定子主动箝位的压电直线精密驱动器，其结构如图5所示，该驱动器能够实现较高频率，达100HZ，速度为30mm/min，行程大于10mm，分辨率为0.05um，大的驱动力，为100N。哈尔滨工业大学深圳研究生院的张兆成研制的直线驱动器，如图6，采用平行的两根导向轴代替传统的导轨，可使驱动器免受轴向力的作用，一定程度上提高了输出精度，结构简单紧凑，但运动灵活性较差，磨损较为严重，易发生卡死现象，驱动器的行程为20mm，驱动速度最大为1.1802mm/s。 3 推动式尺蠖压电驱动器 推动式尺蠖压电驱动器的箝位机构是尺蠖步进运动实现的关键，箝位机构与输出轴之间要有大的箝位力，箝位力决定驱动器的输出力大小，箝位稳定性决定驱动器运动的稳定性与精度，工作原理如图8，首先对箝位机构A加正电压让其压紧输出轴，箝位机构A与输出轴之间产生大的摩擦力，在驱动机构B伸长的作用下会推动箝位机构A，箝位机构A带动输出轴一起向左移动，对箝位机构C加正电压信号时，会伸长压紧输出轴，可使运动停止。该类型尺蠖驱动器结构简单，精度高，运动平稳，不产生振动，并且运动范围大，推动式尺蠖压电驱动器也是目前唯一商业化的尺蠖驱动器。 1975年，B