Inficon探头维护与保养详解.ppt

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2016-09-20 发布于湖北
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Inficon探头维护与保养详解.ppt

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探头维修，维护与保养探头维护与保养常见问题首先检查冷却水保证冷却水足够流量，水温正常检测方法：测量探头出水温度，整个工艺过程中，水温稳定，如果升高，则水量过小典型故障：重复性差探头维护与保养标准单探头结构探头维护簧片调整簧片调整探头维护与保养探头维护与保养水管弯曲真空连接电缆检测短路或断路连接法兰短路或断路拆接检查断路或短路震荡包 XIU检测连线 * 以单探头为例以单探头为例探头真空连接电缆连接法兰 BNC接头 1 水温不稳, 2 保养不良, 3 接地不良，4 硬件故障可造成下列现象 1。ACTIVITY值低 2。镀膜速率不稳定 3。晶片寿命短 4。新晶片实效以单探头为例清洁该表面，不许有镀膜残渣陶瓷座簧脚调整为45度，陶瓷边缘变黑后要更换卡簧007-007，4000次换片后要更换 750-171-P1，4000次换片后要更换水气管可以弯曲，但不能在根部折弯接触面由于高温氧化造成接触不良，或安装方式造成断线用万用表测量图示联线电阻值，应〈1欧姆万用表针一端测此簧脚万用表另一端测此接头内电缆芯针脚短路造成元件击穿 *