MEMS光开关详解.ppt

移动其他部件的光开关 棱 镜 自聚焦透镜 移动棱镜式： 移动反射镜、透射镜式 移动其他部件的光开关 采用MOEMS技术移动微反射镜的光开关 MEMS光开关的分类 按功能实现方法可分为： 光路遮挡型：代表是悬臂梁式光开关 移动光纤对接型 微镜反射型 光路遮挡型MEMS光开关 整个器件尺寸约l~2mm，材料由金、氮化硅和多晶硅组成，并由体硅工艺加工出悬臂梁。它利用8个多晶硅PiN电池(一种非晶硅太阳电池)串联组成光发电机，在光信号的作用下，产生3V电压，电容板受到电场力吸引，将遮片升起，光开关处于开通状态，如无光信号，光发电机无电压输出，遮片下降，光开关关闭。该开关由远端的光信号控制，所以光开关本地是无源的。该光开关驱动光功率仅2.7μW，传输距离达128 km，开关速度3.7ms，插损小于0.5dB。但串扰比较大，隔离度不高，一般用于组成光纤线路倒换系 移动光纤对接型MEMS光开关 一个l×4光开关，利用光纤的移动和对准实现光信号的切换。 采用体硅或LIGA工艺，制造结构和制备方法较为简单。 采用电磁驱动，驱动精度要求低，系统可靠性和稳定性好，稳态时几乎不耗能， 缺点是开关速度较低，可连接的最大端口数受到限制，多用于网络自愈保护。 美国加州大学戴维斯分校研制的移动光纤对接型光开关示意图 微镜反射型MEMS光开关 相对于移动光纤对接的方法，利用微镜反射原理的光开关更加易于集成和控制，组成光开关阵列。根据组成OXC矩阵的方法，可以把利用微镜反射原理的光开关分成二维数字逼近方式和三维模拟逼近方式两种。 二维（2D） 在二维(2D)也称数字方式中，微镜和光纤在同一个平面上，微镜只有两种状态(开或关)。通过移动适当位置的反射镜使其反射光束可将任意输入光束耦合为输出信号。 N×N型光开关 日本和法国共同研制的扭转式微镜光开关 采用单晶硅体硅工艺加工，光纤呈交叉垂直放置，微反射镜垂直放置在一长悬臂梁的前端，并处于两光纤的交叉点上。利用100晶向单晶硅腐蚀特性可精确地加工出相对光纤呈45?的镜面，把从一根光纤中射出的光反射到另一根与之垂直的光纤中。悬臂梁采用电磁驱动，在悬臂梁底部粘合一块100μm厚透磁合金，在相对应的衬底位置，组装一块线圈电磁体，悬臂梁和线圈之间的电磁力便随着线圈中电流的大小和方向而改变，从而使悬臂梁沿电磁力向一边弯曲，带动微反射镜移开原来的位置，实现光路的改变。微镜沿电磁力方向可产生约100μm的位移，响应时间300μs，插损为0.5dB。该光开关的缺点在于微组装电磁驱动不利于集成制造，而且要靠电磁力保持开或关状态，耗能较大。 三维(3D) 在三维(3D)也称为模拟光束偏转开关中，输入输出光纤均成二维排列，两组可以绕轴改变倾斜角度的微反射镜安装在二维阵列中，每个输入和输出光纤都有相对应的反射镜。在这种结构中，N×N转换仅需要2N个反射镜。通过将反射镜偏转至合适的角度，在三维空间反射光束，可将任意输入反射镜／光纤与任意输出反射镜／光纤交叉连接。 例子 韩国国立研究实验室设计的三维光开关阵列的一个微镜单元以表面工艺为基础，利用3D光刻镀铜技术制成，与CMOS工艺有着良好的兼容性。它由5层结构组成，由底层往上依次是电连接用底部电极、底部支撑柱、扭转梁和被抬起的电极、顶部微镜支撑柱、微镜。在静电力作用下，微镜可以绕x轴和y轴运动，从而使输入光束产生不同方向上的输出。在244V驱动电压下微镜最大偏转角可达到2.65o，镜面的曲率半径3.8cm,镜面的表面粗糙度为12nm。构成阵列时采用两组微镜相对安装，这种结构的最大优点是由光程差所引起的插入损耗对光开关阵列端口数的扩展不产生很大的影响，有利于集成并组成大规模光开关阵列。但另一方面，由于需要精确和快速稳定地控制光束，它的控制电路和结构设计较为复杂。 光开关的应用领域 MEMS光开关的应用 光开关可用于光纤通信系统，光纤网络系统，光线测量系统或仪器以及光纤传感系统。 微机械设计 参考文献 [1]张文栋，熊继军.微光电系统.机械工业出版社.2006. [2]（美）莫塔麦迪.微光机电系统.国防工业出版社.2010 [3]清华大学学报（自然科学版）.1999S1期 [4]杨艺榕,刘文平,王跃林,吴亚明;转动竖直镜面的微机械光开关[J];功能材料与器件学报;2004年01期 [5]T Hirano,T Furuhata,K J Gabrial,H Fujita.Design,Fabrication and Operation of Submicron Gap Comb-drive Microactuatours.IEEE J.Microelectromech,1992.1:52-60 [6]G Zh