第4章 电容式传感器-医学传感器.pptVIP

第四章 电容式传感器 引言 电容式传感器（capacitance sensors）是一种将被测非电量的变化转换为电容变化的器件或装置 优点：结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应性强、抗过载能力大、易实现非接触测量等等。 缺点：存在寄生电容和泄漏电阻、线性度差等。 应用：可以应用于位移、振动、角度、加速度等参数的测量中。 第一节 基本工作原理、结构及特点 在实际使用时，电容式传感器常以改变平行板间距d来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度高于改变其他参数的电容传感器的灵敏度。 改变平行板间距d的传感器可以测量微米数量级的位移，而改变面积S的传感器只适用于测量厘米数量级的位移。 在式(4-3)中，当 时， ，则上式可简化为： 此时C与Δd呈近似线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性输出。 通过以上讨论，我们可以得到两个结论： 变间距型电容式传感器的非线性与极板间距离成反比，只有在Δd/d很小时，才有近似的线性输出，因此，这种传感器适合用于小范围（微米级）位移测量； 采用减小初始极板距离d可以大幅提高灵敏度，但d的减小，一是将增大非线性，二是会受到电容击穿电压的影响。 为防止击穿或短路，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。云母片的相对介电常数是