!化学气相沉积原与设备复习题.docVIP

名词解释（5小题，每题4分，共20分） Chemical Vapor Deposition（CVD）：是指在一定的温度下，利用气态（或将液态或固态的物质转化为气态）的物质，在固体表面上进行化学反应，并生成固态沉积物的一种工艺方法 温度—用来表示物体冷热程度物理量，它反应了物体内部大量粒子热运动的剧烈程度和粒子热运动平均动能的大小。温度高的物体——内部粒子热运动烈，粒子热运动平均动能大，反之依然。 热量－物体吸收或放出热能的多少。热量总是从高温物体自发的传向低温物体，就像水从高处→低处；电流从高电位→低电位。 导热（热传导）——指温度不同的物体各部分或温度不同的两物体间直接接触时，依靠分子、原子及自由电子等微观粒子热运动而进行的热量传递现象。 热对流－流体中（气体或液体）温度不同的各部分之间，由于发生相对的宏观运动而把热量由一处传递到另一处的现象。 热辐射 Thermal radiation －由热运动产生的，以电磁波形式传递能量的现象。 黑体：能吸收投入到其表面上的所有热辐射的物体，包括所有方向和所有波长，因此，相同温度下，黑体的吸收能力最强。 等温面：同一时刻、温度场中所有温度相同的点连接起来所构成的面。 热流密度－单位时间、单位面积上所传递的热量，它具有明确的方向性，其方向与温度相反； 流体压缩性：在温度不变的情况下，流体的压强增大，体积减小，密度增大的性质。 流体膨胀系