Sputterspin产能提升报告.docVIP

主旨：SILICA产能提升报告 说明： 壹、SPUTTER产能提升 一、Sputter日均产能状况： 03年上半年，日产出在7.3K左右徘徊，经不断的设备及制程的改善优化，03年下半年日产出逐步提升到8.5K左右。到04年产能持续增加，到9月份开始Sputter日均产出突破9800pcs并保持9900pcs以上。后续朝日产10K努力。 二、Sputter产能突破主对策： 对策项目 原来状况 现在状况 实施 日期 对策效果 组织运作 品位班与保养班各自独立作业，两班人员互动作业较欠缺； 由助工全面负责周边设备故障排除及整改。 品位与保养助工整合，每区安排一个助工统筹品位及保养作业且搭配目标管理 小保守运作，由保守人员专责周边设备故障排除及整改，使Sputter助工可全力投入Sputter生产及设备保养 8/B`04 管理上及人员士气上形成良性循环 设备整改 预热炉回流横向C/V转向组本体破损及转盘使用螺栓定位无自校正效果，每天卡框架故障次数达40次以上； 大室5#、6#配合人工前处理，LD/ULD只能单独作业，G取G置、D取D置每班最高产能770ps； 预热炉出炉口驱动马达使用两年多老化及主齿轮从21齿，马达负载大，每月有3次之重大故障，每次故障时间达2hrs； 前处理翻转转站夹爪为分体式，受力负荷大而易断裂，每次故障工时达3hrs以上。 Sputter大室内每线TR X、Z1、Z2轴启动加速、刹车减速时间各需要2Sec 将磨损之C/V加垫块填平及转盘改用锥形PIN针定位 增加定位机构，G取D置、D取G置，使LD/ULD同时进行动作 马达更换及主齿轮更换为16齿 以减少马达受力过大而使马达卡死及链条卡死 夹爪改为一体成型 减少Sputter大室内每线TR X、Z1、Z2轴启动加速、刹车减速时间，现需时1.2Sec 9/8`04 9/B`04 9/B`04 7/B`04 9/M’04 物流顺畅，卡框架次数为0次。每天增加产出约200pcs 改装后每天可增加产出约500pcs 出炉口0故障 夹爪不再断裂 Index提升10″/pc 制程优化 前处理打磨一站喷漏液及接头老化松动造成打磨液无法喷至管面打磨造成打磨不洁； 风切站风量小、风刀角度调整不佳65°,前处理载出到一外观Pallet与Stopper碰撞剧烈等易造成水滴反溅于管面造成水滴不洁； 管子与枪体距离太长（约16cm），容易造成管面短边颜色不均及机台抽真空需时较长 待单机完全破真空后，TR方起动载入载出，Sputter单机大室逸气，真空度不稳定； Sluice Packing露出Sluice高度仅3mm及其与小室接触面宽度仅4mm 置管座Packing材质差，容易变形，密封不佳，易产生颜色不良； 液铜管更换及更换接头重新固定；加两根打磨液管路自上方由电磁阀控制预喷； 风切站接入高压空气、风刀角度调整为75度、前处理载出到一外观加装变频器控制马达运行频率从50Hz降为42Hz以下运行并更换全部Stopper为缓冲性能良好之Stopper 置管座下25mm改善短边颜色不均及提升 单机Coating完毕，TR提前载入，破真空即载出 Sluice Packing露出高度为5mm及接触面宽度为6mm，保证机台破气后之真空度稳定性 更换为柔韧不易变形材质，真空度佳及机台稳定性佳 4/E`04 7/M`04 5/B`03 5/E`03 5/E`04 8/B’04 二外观打磨不洁不良降低1％ 二外观每天良率提升0.5％ 产能每天1500pcs以上 稳定机台真空度及Index提升5”/p c 提升Index10″/pc Index提升20″~~30″/pc 三、Sputter产能突破意义： 打通SPUTTER产能瓶颈：SEC、Apple及500Nit高亮管等每月对Sputter产能需求约360K，超出原厂内SPUTTER产能，使企划困难，交货及时无法确保。Sputter及Spin每天产能可达17000pcs/day以上，有效解决历史SL积管问题； 成本降低（Spin较Sputter每pc成本高约4RMB）：Sputter 9月日均产能9859pcs/day较03年8161pcs/day高出1578pcs/day，每月28天稼动，每年生产成本节约计算（销售利润及代工成本未纳入）： （9859－8161）×4×28×12＝228.2万/年。 贰、SPIN产能提升： 一、SPIN日均产能状况：