SPM的一般用语.docVIP

SPM 掃描式探針顯微鏡 一般用語SPM 掃描式探針顯微鏡 一般用語 SPM 掃描式探針顯微鏡；Scanning Probe Microscope 於試料表面以微小探針掃描，探針與試料間相互作用的物理量 穿隧電流、原子間力、摩擦力、磁力力等 檢測，對於微小領域的表面形狀檢測及物性分析等行為的總稱。 主要代表 SPM 的有 STM 掃描式穿隧電流顯微鏡 、AFM 原子力顯微鏡 等。 STM 掃描式穿隧電流顯微鏡；Scanning Tunneling Microscope 使用導電性探針與試料間微小電流的利用，對探針與試料間的距離掃描控制，以分析試料表面形狀，獲得原子級圖像的 SPM。 使用測定試料必須為導電性材質。 AFM 原子力顯微鏡；Atomic Force Microscope 於撓性微懸臂先端的探針與試料表面微小作用力的接觸，控制微懸臂的受力值，對探針與試料間的距離掃描控制，以分析試料表面形狀，獲得原子級圖像的 SPM 表面形狀。 另外可區分為接觸式 DC mode 與非接觸式 AC mode 二種類型的 AFM。 使用測定試料可為導電性材質或絕緣體，亦可探測試料表面物性 摩擦力粘彈性表面電位等 的應用。 LFM 側向摩擦力顯微術；Lateral Force Microscopy 接觸式 AFM 模式下可探測試料的摩擦力分布，LFM 屬於 SPM 的探測方式之一。 針對試料的 Y 軸方向側振動，此時探針連桿產生的扭轉角度訊號可求得摩擦力分布的圖像。 試料面的凹凸對連桿扭曲的形狀影響較小。 FFM 摩擦力顯微術；Friction Force Microscopy 接觸式 AFM 模式下可探測試料的摩擦力分布，FFM 屬於 SPM 的探測方式之一。 主要根據探針連桿扭轉方向變化 扭轉角度範圍的設定值為 -90° 至90° ，此時產生的扭轉角度訊號 FFM訊號 可求得摩擦力分布的圖像。 主要應用於無法試料表面形狀判別的材質性問題，如參雜物分布的狀況調查。 FFM 訊號的正負及強度是由連桿扭轉方向變化決定，而且試料面的凹凸部分也會影響連桿扭曲的形狀。 相位模式 相位測定；Phase Mode SPM的測定模式的一種，在非接觸式的AFM模式下，利用相位的變化差異測定表面物性的方式。 主要應用於試料表面，由於吸著力與粘彈性等特性造成探針撓性連桿振動的位相變化，使用相位模式探測可得到較佳的影像，且可與表面形狀同時測定。 帶電的試料、柔軟的試料，且其吸著力強時，使用相位模式的探測較有利。 VE-AFM 微粘彈性測定-原子力顯微鏡；Viscoelastic AFM 非觸式AFM模式探測與試料與VE-AFM為不同的作業方式、VE-AFM屬於SPM的探測方式之一。 方法為於試料 Z 方向施與微小周期性振動、使探針連桿產生撓性的振幅變化、且振幅分解為 sin . cos 成分、求得微粘彈性力分布的圖像。 SMM 表面電位顯微鏡：Scanning Maxwell-stress Microscope 表面電位分布的測定、屬於SPM的探測方式之一。 探針尖端與試料間產生電場作用、此時的靜電力與探針振動發生交互作用、此狀況下可求得試料微小區域的表面電位微分布的圖像。 KFM 表面電位顯微鏡：Kelvin Probe Force Microscope 非觸式AFM模式探測下表面電位分布的測定、屬於SPM的探測方式之一。探針尖端與試料間產生電場作用、此時的靜電力與探針振動發生交互作用、此狀況下可求得試料微小區域的表面電位微分布的圖像。適用於導電性試料、半導体試料、薄型絕緣膜等表面電位的探測。 MFM 磁力顯微鏡：Magnetic Force Microscope 磁性包覆探針與試料間磁力的作用測量 磁力測定、試料表面的磁場分布圖像 屬於SPM的探測方式之一。 使用於硬碟磁力記錄器狀態的觀察或也可使用於磁性材料磁區的分佈觀察。 AFM/電流同時測定 AFM/Current Imaging AFM 測定時於探針與試料間給予任意的偏壓以量測電流值、可觀察試料表面的電流圖像。 使用於導電性的 cantilever 量測。 亦可使用於導電後表面氧化之試料加工。 AFM/CITS AFM/Current Imaging Tunneling Spectroscopy 使用 AFM 量測時亦可針對試料表面各點之I/V曲線的測定。屬於 AFM/電流同時測定的擴充機能、導電性的 cantilever 量測。任意的偏壓等級產生的電流圖像。 STM/CITS STM/Current Imaging Tunneling Spectroscopy 使用 STM 量測時亦可針對試料表面各點之I/V曲線的測定。屬於STM/電