中国半导体硅材料(多晶单晶)材料发展60年.docVIP

本文由狗狗上月球贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 创新 ? 行业研 究 ／ 中国半导体娃榭料 （ 多晶、荦晶 ） 橱斟发展６ 年　 ０ 中国半导体硅材料　 （ 多晶　 单 晶 ） 料 发展 ６ 年　 材 　 ０ － 　 口文 ／ 黎辉　 朱 能源、信息、材料是人类社会的三大支柱。半导体硅 （ 多晶、单晶 ） 材料则是电子信息产业 （ 尤　 其是集成电路产业 ） 和新能源、绿色能源硅光伏产业的主体功能材料 ， 硅材料的使用量至今仍然 占全　 球半导体材料的９ ％以上 ， ５ 是第一大电子功能材料 ， 且早已是一种战略性的物资和产业。半个世纪以　 来， 美、日、德等 国的十大公司一直垄断着半导体材料的技术、市场和销售 ， 对我国进行封锁 ， 严重　 地制约着我国的现代化进程。 　 硅 占地壳的四分之一 ， 是地球上丰度最高的元素之一。我国已发现了高品位的硅 （ 水晶、ＳＯ２） ｉ 　 矿 １０ ４ 亿吨以上 ， 一万年也用不完。 　 国际半导体硅材料的研发几乎与新 中国的诞生同步。上世纪五十年代初开始了高纯度多晶硅生　 产技术 的研发 ， 以后逐步成熟的是 “ 改良西门子法 （ 三氯氢硅氢还原法 ， 占全球多晶硅总产量的　 约 ８ ％） ０ ”与　新硅烷法 （ 硅烷热分解法 ， 占全球多晶硅总产量的２ ％ ） 约 ０ ”。为了降低成本 ， 适应硅　 太阳能电池的需要 ， 国内、外正在探索其它高纯度生产的低成本工艺。 　 １１年 ， ９６ 波兰人切克劳尔斯基发明了拉制金属单晶的直拉Ｃ 法工艺。１ ５ 年 ， Ｚ ９１ 美国人蒂尔和利　 特把Ｃ 法移植到硅单晶生长工艺上来 ， Ｚ 拉出了ｑ１ ０ ） ０ ｍｍ的单晶。１ ５ 年 ， ９２ 美国人普凡采用高频感　 应加热发明了硅单晶生长的无坩埚悬浮区域熔炼 Ｆ 法。此后Ｃ 法和Ｆ 法的工艺与设备的不断发展使　 Ｚ Ｚ Ｚ 之成为现代硅单晶生产的主要技术。硅单晶加工的后道硅片的切、磨、抛、清洗等工艺在不断向大尺　 寸、高精度迈进 ： 微米技术、亚微米技术、深亚微米技术、甚至纳米级加工技术的进步 ： 硅外延片、 　 ＳＩ Ｏ 片、Ｓ ＯＩ Ｇ 片、ＭＥ 、ＮＥ 等材料与工艺不断涌现满足了微电子技术、微纳电子技术及半导体　 ＭＳ ＭＳ 纳米电子技术等发展的要求。 　 中国半导体硅 （ 多晶、单晶 ） 材料发展历程大致经历了起步探索与快速发展两个阶段。 　 ｌ ＮＮ０ＶＡＴＩ ＯＮ ?３Ｏ／ 　 ３１ 一 、 起 步探 索 阶 段 （ ９ ０ １ ８ 　 １ ５ － ９ ４） 的推 动 下 ，尤 其 是 在 近 ５ 年 间我 国 硅 光 伏 产 业 加　 ～６ 速 大 发 展 的拉 动 下 （同期 ，国 际 国 内太 阳 能 级 多 晶　 硅 价 格 从 ２ 美 元 ／ 斤 不 断 暴 涨 至 ４ ０ 元／ 斤 以　 ０ 公 Ｏ美 公 上 ，且 供 应 极 度 紧 张 ，严 重 制 约 了我 国 的现 代 化 建　 设 ），我 国 政 府 各 部 委 相 继 出 台 了一 系列 推 动 硅 材　 这 一 阶段标 志 性 的事件 有 ： 　 １ 上 世 纪 五 十 年 代 初 ，黄 昆 、谢 希 德 、 王 守　 、 武 、林 兰英 、沈 华生 、宛 吉春 等 一批 海 外 半导 体 学 者　 相 继 回 国。 　 料 技 术发 展 的产业 政 策 ： 　 ２ ０ 年国 务院 办公 厅 发布 的 关于 “ 成 电路和 软　 ００ 集 件 产 业若 干 政策 ” 的 １ 号 文 中关 于硅 单 晶 生产 可 以享　 ８ 受 的 增值 税 从 １ ％降至 ６ （以后又 降至３ ）的政 策　 　 ７ ％ ％ ２、 １ ５ 　 ６年 ， 由北 京 大 学 、 清 华 大 学 、南 京 大　 ９ 学 、复 旦大 学 和 兰 州大 学抽 调 物 理 系应 届 毕业 生 ，五　 校 联 办 ，由一 些 回 国的 半 导体 学 教 师在 北 大 半导 体 物　 理 师资班 。 这批 学 员于 １ ５ 年 学成 专 业 回到 原大 学 组　 ９８ 在 当时我 国硅材 料 行 业极 度 困 难转 而 高速 发 展 的过 程　 中所起 的 巨大作 用 ，真 实 雪 中送 炭 。 　 建半 导 体 专 业 。 １ ６ 年８ 我 国开 始 有 学 半导 体 物 理　 　 ２ 月 ９ 专业 的学 生毕 业 。 　 ３