传感器与检测技术第二版胡向东著第六章压电式传感器汇编.pptVIP

2002/12总结 第6章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源 的双向 机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。 6.1 压电效应 对于某些晶体或陶瓷： 当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷； 当外力去掉后，又恢复到不带电状态； 当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变； 晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。 上述现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生伸缩变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)U为： 这样，可以把压电元件等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca并联的等效电路；同时也等效为一个电压源U和一个电容器Ca串联的等效电路(如虚框）。其中Ra为压电元件的漏电阻。 第6章 本章要点 6.3.6 压电式玻璃破碎监测 下页 上页 返回 下页 返回 6.1 工作原理 6.2 测量电路 6.3 典型应用 本章要点 下页 上页 返回 下页 上页 返回 6.1 工作原理 特点： 结构简单、体积小、重量轻； 工作频带宽；灵敏度高；信噪比高； 工作可靠；测量范围广等。 用途： 主要用于与力相关的动态参数测试，如动态力、机械冲击、振动等，它可以把加速度、压力、位移、温度等许多非电量转换为电量。 下页 上页 返回 6.1.2 压电材料 1.石英晶体 图6-1 石英晶体 X轴——电轴； Y轴——机械轴； Z轴——光轴； 下页 上页 返回 现象 机理 下页 上页 返回 下页 上页 返回 沿X轴或Y轴作用力，产生压电效应； 沿Z轴作用力，不产生压电效应； 压电效应呈现各向异性 压电系数dij下标的含义： 第一个下标：表示极化（电荷极性）方向， i=1,2,3分别代表X，Y，Z轴； 第二个下标：表示作用力的方向， j=1,2,3,4,5,6分别代表沿X轴，Y轴，Z轴方向的单向应力和垂直于X轴，Y轴，Z轴平面（即YZ平面，XZ平面，XY平面）作用的剪切力。 X轴向受力：（与几何尺寸无关） Y轴向受力：（与几何尺寸有关——薄片） Z轴向受力： 无 石英晶体（单晶体） 下页 上页 返回 下页 上页 返回 2. 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 下页 上页 返回 在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。当外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。 下页 上页 返回 具有剩余极化的压电陶瓷材料受到外力作用时，将在垂直于极化方向的平面上出现电荷集聚的变化，产生由机械能转变为电能的正压电效应。 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化， 从而使其压电特性减弱。  　 下页 上页 返回 3. 压电高分子材料 这种聚合物中碳原子的个数为奇数，经过机械滚压和拉伸制作成薄膜之后，带负电的氟离子和带正电的氢离子分别排列在薄膜的对应上下两边上，形成微晶偶极矩结构，经过一定时间的外电场和温度联合作用后，晶体内部的偶极矩进一步旋转定向，形成垂直于薄膜平面的碳－氟偶极矩固定结构。正是由于这种固定取向后的极化和外力作用时的剩余极化的变化，引起了压电效应。 聚偏二氟乙烯 下页 上页 返回 4. 压电材料的特性参数 压电系数：衡量压电效应强弱（灵敏度） 弹性系数：决定固有角频率（动态特性） 介电常数：影响固有电容（频率下限） 机电耦合系数：用于衡量能量转换效率 正： 逆： 电阻：减少电荷泄漏（改善压电式传感器的低频特性） 居里点：开始失去压电特性的温度 下页 上页 返回 5.压电材料的选取 选用合适的压电材料是设计、制作高性能传感器的关键。一般应考虑： 转换性能：高耦合