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降低扩散不良  Issued by: 王琛 Issued date: Jun 25th,2010 D1:组织团队与制定计划； D2:描述问题 D3:碎片分布与即时补救 D4:确定根本原因 D5:实验及数据统计 D6:方法实行和验证 D7:预防与根本解决方案 D8:效果确认和交流 演示架构 Team Leader: 王琛 Team Members: 扩散员工: 王青、何超、高贵 工艺员: 刘斌贤、王鑫 质检员: 杨亚、夏志伟 Diciline 1 组织团队与制定计划 1.1 团队介绍 DATE: Feb. 27th, 2010 Diciline 1 组织团队与制定计划 1.2 围绕问题组织团队 DATE: Feb. 27th, 2010 项目 2月上旬 2月中旬 2月下旬 3月上旬 3月中旬 3月下旬 4月上旬 4月中旬 4月下旬 5月上旬 5月中旬 5月下旬 6月上旬 统计不良情况 分析不良中碎片及不良的比率 质检员、工艺员确认舟垫可以用 质检员、工艺员确认新镊子可以用 舟垫实验及实验数据统计 新镊子实验及实验数据统计 对比改进前后碎片率、崩边率 制作操作规程 评估试验对其他工序的影响 经验总结与交流 Diciline 1 组织团队与制定计划 1.3 计划安排 DATE: Feb. 27th, 2010 Diciline 2 描述问题 2.1 崩边介绍 DATE: Mar. 3rd, 2010 扩散崩边 降低扩散碎片率、不良率是一个长期、 持续改进的问题，不紧急但重要 紧迫性 重要性 Diciline 2 描述问题 2.2 重要性分析 DATE: Mar. 3rd, 2010 5W2H 包含内容 When 扩散生产过程中 Where 扩散间插片房 What 碎片率、崩边率较高 Why 插片工具不合适，石英舟与硅片碰撞剧烈 Who 生产一线员工 How 规范化插片方式，改进插片工具 How much 花费最小，收益很多 Diciline 2 描述问题 2.3 分析问题 DATE: Mar. 3rd, 2010 Diciline 3 不良分布与即时补救 3.1 分析步骤 DATE: Mar. 13th, 2010 Diciline 3 不良分布与即时补救 3.2 改善前不良分布 DATE: Mar. 13th, 2010 Diciline 3 碎片分布与即时补救 3.2 临时补救措施 DATE: Mar. 13th, 2010 Diciline 3 碎片分布与即时补救 3.3 鱼骨图找出可能原因 DATE: Mar. 20th, 2010 镊子头 镊子头形状不合适 镊子头太硬 扩散机温变过快 扩散机故障 方法不佳 插片方法不正确 镊子拿法错误 插片时方法不统一 工作态度 工作技能 插片太用力 随心所欲 不看SOP SOP不熟 插卸片不熟练 机器操作不熟练 来料不良 来料错误 保存不佳 来料隐裂 来料掉角 上工序给错 用力过大造成隐裂 未按规定放置 左右手区别 动作统一性 低不良率 高不良率 舟不合适 舟 舟太硬 扩散机 新员工 混单 片源差别 Diciline 4 确定根本原因 DATE: Mar. 20th, 2010 Item Possible Factor Root Cause Man 工作态度不积极、不认真 No Machine 石英舟舟槽形状插卸片时硅片与石英舟底槽磕碰；镊子外形不合适，质地太硬 Yes* Material 片源差别 No Method 插卸片速度过快导致 No Enviroment 现场环境及管理 No Note: Yes* is the critical factor. Diciline 5 实验及数据统计 5.1 实验方案 DATE: Apr. 13th, 2010 Diciline 5 实验及数据统计 5.2 舟垫方案图示 DATE: Apr. 13th, 2010 Diciline 5 实验及数据统计 5.3 新镊子方案数据 DATE: Apr. 13th, 2010 Diciline 5 实验及数据统计 5.4 新镊子方案对其他工序影响 DATE: Apr. 13th, 2010 Diciline 6 方法实行和验证 6.1 方法实行具体措施 DATE: Apr. 10th, 2010 Item Measure Responsible Person Man 详细制定标准作业流程（SOP）并严格执行 王琛、王鑫、王青 Method 1.采购4个铁芙蓉材质舟垫，插卸片时起缓冲作业； 2.采购新镊子和新镊子头 刘斌贤 Diciline