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磁控溅射 磁控溅射的基本原理，就是以磁场来改变电子的运动方向，并束缚和延长电子的运动轨迹，从而提高了电子对工作气体的电离几率和有效地利用了电子的能量。因此，使正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。同时，受正交电磁场束缚的电子，又只能在其能量要耗尽时才沉积在基片上。这就是磁控溅射具有“低温”，“高速”两大特点的道理。 电子在电场和磁场中的运动 物理气相沉积 离子镀 基本原理是在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜。 离子镀的基本特点是采用某种方法(如电子束蒸发磁控溅射，或多弧蒸发离化等)使中性粒子电离成离子和电子，在基体上必须施加负偏压，从而使离子对基体产生轰击，适当降低负偏压后，使离子进而沉积于基体成膜。 离子镀集蒸发镀和溅射镀为一体，沉积过程中既有靶材的蒸发、又有离子轰击溅射。 离子镀的优点如下：①膜层和基体结合力强。②膜层均匀，致密。③在负偏压作用下绕镀性好。④无污染。⑤多种基体材料均适合于离子镀。 离子镀 反应性离子镀 电弧离子镀 离子镀 磁过滤电弧离子镀 缺点是沉积速度只有普通电弧离子镀的10~20%。 化学气相沉积 化学气相沉积 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition\CVD) CVD是把一种或几种含有构