国外CCD检测术在工业中的应用与发展.docVIP

国外CCD检测技术在工业中的应用与发展 类别：行业知识 发布时间：2008-1-25 阅读：1023 摘要：CDD图像传感器以其光谱响应宽、动态范围大、灵敏度和几何精度高、噪声低、便于进行数字化处理和与计算机连接等优点，在工业测控中得到广泛应用。该文简要介绍了CCD图像传感器的检测原理和它在工业检测中的应用现状，分析了现有CCD检测技术在应用中存在的问题和局限，指出了CCD传感器在工业检测应用中的发展方向。 关键词：CCD；检测技术；图像传感器 The application and development of CCD measurement technology i n foreign industrial fields LIU Zheng,PENG Xiaoqi,DING Jian,TANG Ying (College of Physics Science Technology under Central South Uni versity，Hunan Changsha 410083,China) Abstract：The CCD image sensors have been wide ly used in industrial process measurement and control systems owing to their wid e spectral response,wide dynamic range,high sensitivity and geometric precision ,low noise and convenience for digital processing and connecting computers.The p aper gives a brief introduction about the measuring principle of the CCD image s ensor and its application status in industrial measurements.Some difficulties an d limitations existing in its application are analysed and the trend of its appl ication is pointed out. Key words：CCD;measurement technology;image sensor 0 引言 电荷耦合器件(Charge Couple Device，CCD)是一种以电荷为信号载体的微型 图像传感器，具有光电转换和信号电荷存储、转移及读出的功能，其输出信号通常是符合电 视标准的视频信号，可存储于适当的介质或输入计算机，便于进行图像存储、增强、识别等处理［1］。 自CCD于1970年在贝尔实验室诞生以来，CCD技术随着半导体微电子技术的发展而迅速发展，CCD传感器的像素集成度、分辨率、几何精度和灵敏度大大提高，工作频率范围显著增加，可高速成像以满足对高速运动物体的拍摄［2］，并以其光谱响应宽、动态范围大、灵敏度和几何精度高、噪声低、体积小、重量轻、低电压、低功耗、抗冲击、耐震动、抗电磁干扰能力强、坚固耐用、寿命长、图像畸变小、无残像、可以长时间工作于恶劣环境、便于进行数字化处理和与计算机连接等优点，在图像采集、非接触测量和实时监控方面得到了广泛应用，成为现代光电子学和测试技术中最活跃、最富有成果的研究领域之一［1，3］。 1 CCD传感器的检测原理 CCD是由光敏单元、输入结构和输出结构等组成的一体化的光电转换器件，其突出特点是以电荷作为信号载体，其基本工作原理见文献［4，5］。当入射光照射到CC D光敏单元上时，光敏单元中将产生光电荷Q，Q与光子流速率Δn 0、光照时间TC、光敏单元面积A成正比，即： Q＝ηqΔn0ATc(1) 其中η为材料的量子效率；q为电子电荷量。CCD图像传感器的光电转换特性如图1 如示，其中横坐标为照度，lx.s；纵坐标为输出电压，V0在非饱和区满足： f(s)=d1sτ＋d2(2) 式中，f(s)为输出信号电压(V)；s为曝光量(lx.s)；d1为直线段的斜率(V／lx.s)，表示CCD的光响应度；τ为光电转换系数，τ≈1；d2为无光照时CCD的输出电压，称为暗输出电压。特性曲线的拐点 G所对应的曝光量SE称为饱和曝光量，所对应的输出电压VSAT称为饱和输出电压。曝光量高于SE后，CCD输出信号不再增加，可见，CCD图像传感器在非饱和区的光电转换特性接近于线性，因此，应将CCD的工作状态控制在非饱和区。 2 CCD的应用状况 CCD检测技术作为一种能有效实现动态跟踪