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就位高效过滤器检漏测试作业指导书 1. 目的 规范检漏操作，符合检测标准。 2. 适用范围 洁净室、洁净设备，安装就位高效过滤器检漏测试。 本指导书适用于各行业洁净室、洁净设备，就位高效过滤器检漏的检漏测试。 3. 引用标准 国际标准 ISO 14644-3:2009 4. 仪器设备 序号 名称 型号 1 计数检漏仪 SX-L310S 2 颗粒稀释器 SX-D100 3 气溶胶发生器 SX-Q5 5.检漏前的准备 5.1 洁净室风口风量合格，房间之间的压差合格。 5.2 洁净室空态自净运行8小时。 5.3 拆下洁净室高效风口的散流板。 5.4 预先了解被测高效过滤器效率。 5.5 准备口罩及洁净服 5.6 准备压缩空气 0.4Mpa流量 200L/min 6. 操作步骤： 6.1 对上游引入气溶胶 将癸二酸二酯（DEHS）气溶胶引入高效过滤器的上游。可将气溶胶发生器放置在洁净室的空调送风段，中效过滤器后面。喷雾压力调节至60Kpa。 6.2 对计数检漏仪进行自净。在空调系统风管分支最末端，测试上游浓度。 计数检漏仪与稀释器连接好后，按“观察”键启动后，将高效过滤器的效率输入仪器内，直到气溶胶达到检测所需的浓度。 上游浓度＞180000P/L 至少得到连续4次上游浓度，想对稳定的数据，必须打印出来。4次漏点值与平均值比较不超过±15。 6.3 以下是下游漏点值的计算公式：（仪器内置，仪器会自动保存最后一分钟的漏点值） ISO14644-3 标准：Npa Cc×PL×qVs×Tr Npa—对应判漏的实际粒子数； Ps—被试过滤器最大允许整体透过率； PL—被试过滤器定点透过率；PL Ps×K K—表示PL 大于Ps 多少的系数； qVs—计数器标准流量，qVs 472 cm3/s Tr—采样时间 6.4 计数检漏仪测量完上游浓度后，对仪器进行自净完成后，关机。 6.5 高效过滤器下游扫描检漏 将手持扫描探头与计数检漏仪连接。仪器开机后，可按“观察”键，再按下“观察”键。对被测风口进行编号输入。按手持探头面板上右侧的“启/停”进行扫描。 6.6 采样口与过滤器出风面以及过滤器边框距离约3 ㎝，注意采样口不能触碰高效过滤器。采样口应与扫描方向垂直按“ S ”进行，并控制好扫描速度大约为5cm/s，往复扫描中，探头覆盖的扫描面之间应略有重叠。 6.7 扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器的周边、过滤器边框与安装架构之间的密封、安装架构的结合点。 6.8 如整个扫描过程无报警信号，则表示该编号风口通过（实测值小于漏点值）按“启/停”按钮结束扫描，仪器即时打印结果。 6.9 如发生报警，则显示该点位有疑似泄露，需进行静止方式复测，在驻留时间内，观察计数小于漏点值，则认为无渗漏；持续大于漏点值，则认为该点有渗漏，按“启/停”按钮结束扫描，仪器即时打印结果。 6.10 有渗漏高效过滤器，可进行当场整改，不能当场整改解决的，仪器可即时打印结果（不通过），判该编号未通过。 6.11 依次对每个高效过滤器进行编号及扫描检漏，直至扫完全部。 苏州市苏信净化设备厂作业指导书 SXJH-JL001 起草： 批准： 第1页/共4页 发布2012年 月 日 第 次修改