第三章粒子(束)与材料的相互作用分析.pptVIP

2.电声效应 在固体中电子能量损失的40%~80%最终转化为热。 在实际工作中，入射电子束采用扫描工作模式，样品的温升并不严重。 当用周期性脉冲电子束照射样品时，样品中会产生周期性衰减声波（晶格振动），这种现象称为电声效应。 用压电器件和成像技术可将电声效应信息用于成像。 3.电子感生电导 电子在半导体中的非弹性散射产生电子-空穴对。 通过外加电压（电场）可以分离正负电荷，产生附加电导，称为电子感生电导（ENIC）；而p-n结对这些自由载流子的收集作用可以产生附加电动势，称为电子感生伏特。 载流子可以在整个样品中扩散，其中少数载流子的浓度随扩散距离x指数衰减[n?e-x/L，L是扩散长度]。 利用这种效应可以测量少数载流子的扩散长度和寿命。 4.阴极荧光 在本征和搀杂半导体中，电子-空穴可以通过杂质原子能级复合发光，即所谓阴极荧光（CL）。 阴极荧光同样可以在一些有机荧光化合物中产生。 对于不同种类固体，产生阴极荧光的物理过程不同，而且对杂质和缺陷的特征十分敏感。因此，阴极荧光是检测杂质和缺陷的有效方法，常用于鉴定物相、杂质或缺陷的分布。 电子与材料相互作用产生的信号及据之发展起来的分析方法 电子探针 * 第二节 离子束与材料的相互作用 一、散射 二、二次离子 动量和能量转移是离子与固体相互作用的重要特征。 一、散射 离子与固体原子的碰撞可以用台球间的碰撞