激光干涉测量系统.docVIP

激光干涉测量系统 Laser Interferometer 型号：DISTAX L-LM-20B 购入时间：2004年01月 价格：303400元（人民币） 制造厂家：日本东京精密公司 安装地点：延长校区机械楼102室 所在单位：机自学院精密机械系 所在地址：延长路149号 联系人：程维明 联系电话：（021）座机电话号码 仪器简介： 激光干涉测量系统是以激光为长度基准，对长度等几何量进行精密测量的仪器。可以进行精密位移测量，配以相应的工夹具可以测量大型装置的长度、角度等几何量。该激光干涉仪以光纤为光束传导介质，并带有空气传感器和工件温度传感器，使用、安装方便，精度高。 主要技术指标： 测量分辨率：10nm；测量精度：0.1μm；测量速度：0.4ms-1；激光功率：1Mw 应用范围： 长度测量、位移测量等