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洁净室微尘粒之标准
潔淨室微塵粒之標準 全國聯邦規格 Fed.Std.209E 等級分類表
Cleanliness class Maximum numbers of particles 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm Unit volume Unit volume Unit volume Unit volume Unit volume Metric system fps system m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 ... ... ... ... M1.5 1 1,240 35.0 265 7.5 106 3 35.3 1 ... ... ... ... M2 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 ... ... ... ... M2.5 10 12,400 350 2,650 75 1,060 30 353 10 ... ... ... ... M3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 ... ... ... ... M3.5 100 ... ... ... ... 36,500 750 10,600 300 3,530 100 ... ... ... ... M4 ... ... ... ... 75,700 2,140 30,900 875 10,000 283 ... ... ... ... M4.5 1000 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 35,300 1,000 247 7 M5 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 100,000 2,830 618 17.5 M5.5 10000 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 353,000 10,000 2,470 70 M6 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 1,000,000 28,300 6,180 175 M6.5 100000 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 3,530,000 100,000 24,700 700 M7 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 10,000,000 283,000 61,800 1,750 ISO/TC209 ISO 14644-1 潔淨標準
等級 Class 微塵粒限制 顆/m3 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm ISO 9 - - - 35,200,000 293,000 ISO 8 - - - 3,520,000 29,300 ISO 7 - - - 352,000 2,930 ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 293 ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 29 ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 0 ISO 3 1,000 237 102 35 0 ISO 2 100 24 10 4 0 ISO 1 10 2 0 0 0 ISO/TC209 與 Fed.Std.209E之比較
ISO/ TC209 Class Fed.Std.209E 微塵粒限制 英制 Class SI制 Class 0.1μm 顆/m3 0.5μm粒徑 顆/m3 顆/m3 ISO 9 - - - - - ISO 8 100,000 M6.5 - 100,000 3,520,000 ISO 7 10,000 M5.5 102,000 10,000 352,000 ISO 6 1,000 M4.5 10,200 1,000 35,200 ISO 5 100 M3.5 1,020 100 3520 ISO 4 10 M2.5 102 10 352 ISO 3 1 M1.5 10 1 34 ISO 2 - - 0 0 0 ISO 1 - - - 0 0 無塵室 ICR 無菌室 BCR 的環境狀
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