洁净室悬浮粒子的测试规程.docVIP

****公司 题目： 洁净室悬浮粒子的测试规程 页数 1/4 批准人： 生效日期： 原标记号： 颁发部门： 审核人： 颁发日期： 起草部门： 起草人： 起草日期： 分发部门： 1范围：本标准规定了洁净室悬浮粒子的测试规程。 2引用标准：中华人民共和国国家标准[GB/T 16292—1996]。 3测试仪器：Y09-9型激光尘埃粒子计数器 4测试原理 空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒子的表面积成正比。 5操作 5.1测试准备 5.1.1将电源线插入“电源插座”，插上温湿度输入线。将“开关”打向“开”处，预热10min。使仪器自净清零。见QJ/HW SB-JY-37-2003 Y09-9型激光尘埃粒子计数器维护操作规程。 5.1.2计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。 5.1.3采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.2测试条件 5.2.1温度和湿度：洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃-24℃，相对湿度控制在45%-60%之间为宜）。 5.2.2压差：空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥4.9Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。 5.3测试状态：有静态测试和动态测试。静态测试时，室内测试人员不得多于2人。测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.4测试时间：测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。 5.5悬浮粒子计数 ****公司 题目： 洁净室悬浮粒子的测试规程 页数 2/4 5.5.1采样点数目及其布置 悬浮粒子洁净度监测的采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.5.1.1采样点布置见下图。 5.5.1.2最少采样点数目见下表 面 积 m2 洁净度级别 100 10 000 100 000 ＜10 ≥10～＜20 ≥20～＜40 ≥40～＜100 ≥100～＜200 ≥200～＜400 2～3 4 8 16 40 80 2 2 2 4 10 20 2 2 2 2 3 6 注：表中的面积，对于单向流洁净室，是指送风面积。对于非单向流洁净室，是指房间的面积。 5.5.1.3采样点的位置 5.5.1.3.1采样点一般在离地面0.8cm高度的水平面上均匀布置。 5.5.1.3.2采样点多于5点时，也可以在离地面0。8-1.5cm高度的区域内分层布置，但每层不少于5点。 5.5.2采样点的限定：对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得 ****公司 题目： 洁净室悬浮粒子的测试规程 页数 3/4 少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。 5.5.3采样量 不同洁净度级别每次最小的采样量见下表 洁净度级别 采样量，L/次 ≥0.5μm ≥5μm 100 10 000 100 000 5.66 2.83 2.83 --- 8.5 8.5 5.5.4采样注意事项 5.5.4.1在确认洁净室（区）送风量和压差达到要求后，方可进行采样。 5.5.4.2对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜向上。 5.4.4.3布置采样点时，应避开回风口。 5.4.4.4采样时，测试人员应在采样口的下风侧。 6结果计算 6.1采样点的平均粒子浓度 C1+ C2+ … +CN A N 式中：A---某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3； Ci--某一采样点的粒子浓度 i 1，2，…，N ，粒/m3； N---.2平均值的均值 M （A1 + A2 + … + AL）/L ****公司 题目： 洁净室悬浮粒子的测试规程 页数 4/4 式中：M---平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒`/m3； AI---某一采样点的平均粒子浓度（i 1，2，…，L），粒`/m3； L---某一洁净室（区）的总采样点数，个。 6.3标准误差 SE [（A1-M）2+（A2-M）2 + … +（AL-M）2]/L（L-1） 1/2 式中：SE---平均值均值的标准误差，粒`/m3。 6.4置信上限 UCL M + t×SE 式中：UCL---平均值均值的95%置信上限，粒`/m3； t---95%置信上限的t分布系数，见下表 采样点数L 2 3 4 5 6 7 8 9 ＞9 T 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86 --- 注：当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。 7结果判定 7.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限。 7