DLC薄膜的研究分析.ppt

9. 纯碳DLC膜的粘附力 * DLC膜粘附力：0.11±0.04 nN 10. 掺氟DLC膜的粘附力（“晶粒”区） * “晶粒”区粘附力：0.05±0.01 nN 11. 含氟DLC膜的粘附力（非“晶粒”区） * 非“晶粒”区粘附力：0.000 nN 各表面及微区的粘附力比较 * 镀膜前粘附力最大，镀DLC膜后粘附力明显减小，掺杂F后粘附力更小，原因是其疏水性依次增大 含氟DLC薄膜的非“晶粒”微区（B区）的粘附力明显小于“晶粒”微区（A区），说明B区表面的疏水性更大或表面能更低 四、结论 电极距离的减小、溶液温度的升高、一定范围内水含量的增加等都会显著加速DLC薄膜的沉积 用自制装置成功地制得表面均匀而致密的DLC薄膜 用三氟乙醇制备的掺氟DLC薄膜具有较小的粘附力，疏水性强 * 本论文研究的突破和创新之处： 1.参与设计和搭建了独特的、能精密控制电压和电流的恒压恒流供电系统，国内外尚无相关报道 2.微量水的加入不仅能显著增大电流密度，且能有效增大镀膜速度 3.用AFM对非均质表面进行微区粘附力测量，国内外罕见。 * 致 谢 感谢指导老师庞重军博士的启发鼓励和热情帮助 感谢应化实验室提供良好的实验条件 感谢化学学院及应化系师生的关心和支持 感谢本原纳米仪器公司王春华工程师、汤华清工程师在AFM表征过程中的积极帮助 感谢广东省自然科学基金和茂名学院自然科学基金的资助