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紫外摄像机的介绍及其应用 [热点技术] 阅读数：585 录入人：admin 日期：2008-6-5 14:35:43 ? 近几年，固体紫外摄像器件在皮肤病诊断方面有着独特的应用效果。如在检测诊断皮肤病时可直接看到病变细节，并可用它来检测癌细胞、微生物、血色素、白血球、红血球、细胞核等，其检测不但迅速、准确，而且直观、清楚。在军事上，它主要用于紫外告警、紫外通讯、紫外/红外复合制导和导弹跟踪以及监视天空、研究远距离星体等方面。 由于紫外光的波长比可见光短，因而它又叫做“黑光”，因为它可以引起某些材料在黑暗中发光。因此，这种紫外摄像机除在军事与医学领域很有用外，它还在公安刑侦、纸币与证件等防伪检测等方面均有很好地应用（研究曾在纸币防伪中应用)。下面就介绍一下目前已应用的两种紫外摄像机，它们的工作原理、特点及应用，以及紫外探测与成像应注意研究的几个关键技术问题等。 一、紫外CCD摄像机 1、紫外CCD 一般紫外辐射的波长范围为100nm～380nm，而常用的硅衬底的CCD是接收不到的，因为它的波长范围为400nm～1100nm。由于CCD是MOS型结构器件，SiO2栅介质和多晶硅（Poly－Si）栅对紫外（UV）光子均有较高的吸收系数。因此，CCD用于UV光子的探测是非常困难的，因为UV光子几乎不能到达硅衬底。为了避免UV光子在CCD表面多层结构中被吸收，目前采用以下的方法:???? 在CCD表面淀积一层对UV光子敏感的磷光物质，并通过适当选择磷光物质，将紫外信息转换成与CCD光谱响应相对应的波长。这种磷光物质可以选择晕苯。当用波长小于380nm的紫外辐射激发时，晕苯即发出荧光，其波长在可见光谱的绿光波段，峰值接近500nm。因此，CCD可以接收，它在覆盖晕苯(即在CCD表面淀积一层磷光体)前后的光谱响应如图1所示。 采用深耗尽CCD方法。即采用轻掺杂、高电阻率衬底，使CCD栅下的耗尽区扩展至硅片背面，由背面入射的UV光子产生的电子被耗尽区中的电场扫进正面。这种深耗尽CCD方法不仅避免了多晶栅的吸收，而且避免了常规掺杂浓度背照CCD必须的减薄。 这种耗尽方法的另一优点是硅片后的高温工序可以进行，并可获得各种各样的钝化结构。 ??? 图1? CCD光谱响应图 图2给出深耗尽CCD的剖面结构。背面注入的P＋层可通过降低器件暗电流和增加量子效率来改善CCD背面的特性。这种深耗尽CCD衬底的厚度大约为150μm。 深耗尽CCD方法的缺点是暗电流大，暗电流随空间电荷区的体积线性增加。在室温时暗电流较大，但暗电流将随温度的降低显著下降。对大多数学科的UV应用来说，都很容易实现致冷，因而暗电流不再是一个问题。 ??? 图2? 亮电阻率衬底深耗尽CCD的剖面图????????? 由于硅在200～400nm波段内的吸收深度小，因此在紫外波段内进行成像比较困难，但现在人们已经找到能够达到良好紫外响应的许多方法。因此，紫外CCD是将硅CCD减薄后涂荧光物质把紫外光耦合进器件，它可使器件具有在波长从真空紫外到近红外波段摄像力。 ? 而Photometrics公司采用在正面照射的CCD上加一层薄薄的发光转换涂料的方法，这层涂料能把紫外辐射转换成普通CCD能够响应的中等波长的可见光，而不需要对硅本身作专门的处理。在这种情况下，正面照射的CCD在200～400nm的波段内可到20％的量子效率。如再经过适当背面注入处理，涂有特制抗反射涂料并且具有深耗尽层的背面照射CCD，在200～400nm波段内可达到50％以上的量子效率。在喷气推进实验中，首次推出的金属闪光栅可用来代替背照射CCD的注入后经退火的背面。 ? 另一种方法是在薄型CCD背面放置一发光层，这同正面照射方法相似，但量子效率却比较高。 2、紫外BTCCD 日本滨松公司在1998年，开发成功了新型紫外固体摄像器件——薄型背照式电荷耦合器件（即Back Thinned Charge Coupled Device，简称BTCCD），由于采用了特殊的制造工艺和特殊的锁相技术，该BTCCD不仅具有固体摄像器件的一般优点，而且具有噪声低，灵敏度高、动态范围大的优点。 BTCCD是一种薄型背照式摄像器件，它主要由垂直CCD移位寄存器，水平CCD移位寄存器和锁相（定）放大器等三部分组成。其工作原理是，在时钟脉冲驱动下，信号电荷由垂直CCD移位寄存器一步一步地输送到水平CCD移位寄存器，然后再由锁相（定）放大器变换成电压信号输出。其原理图如图3所示。 BTCCD中的锁相放大器作用比较重要，它有很高的电荷／电压变换灵敏度和很低的噪声，因而该摄像器件的信噪比和灵敏度都很高。 BTCCD有很高的紫外光灵敏度，它在紫外波段的量子效率如图4所示。由图4可以看到，在紫外波段，量子效率超过4