MTL-PI-07 沉铜工序作业指导书.docVIP

文 件 修 改 记 录 页码 版本 修改内容 生效日期 All A.0 首次颁布 2006-08-30 All A.1 沉二次铜操作 2006-10-30 A11 A.2 细化沉铜线操作规范 2009-03-13 受 控 文 件 保 管 者记录 序号 分发单位 1 电镀班 2 品质部 总页数： 13 页 3 工艺部 编 制： 审 核： ： 分析项目 控制范围 操作条件 分析 频率 换缸频率 材料 容积 浸液 时间 滴水时间 膨胀 碱当量 0.7-0.9N 温度75±2℃ ;水质：纯水 ;非空气搅拌;过滤、震动. 1次/天 6000-8000M2 PP 316 180L 710′ 15S 强度 60%-120% 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 147′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 240′ / 除胶渣 氧化剂总量 45-65g/l 温度：75±3℃ ; 水质：纯水; 空气搅拌 ; 震动 1次/天 1次/3月;8000-10000M2 PP 316 320L 1022 15S 碱度 0.9-1.3N 锰酸钾 25g/l 凹蚀速率 0.1-0.3mg/cm 1次/周 回收水洗 自来水 / 非空气搅拌 / / PP 316 180L 214′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 346′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 118′ / 中和 MLB216 70%-120% 温度：48±2℃ 水质:纯水;过滤、震动 1次/班 6000-8000M2 PP 180L 720′ / 酸度 1.2-1.7N 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 212′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 210′ / 除油 C233 2-3% 温度45±2℃ ;水质：纯水 ;过滤、震动 1次/班 1次/2周 Cu2+ 1.5g/l PP 316 180L 535′ 20S Cu2+ 1.5g/L 热水洗 自来水 / 温度40±2℃ 非空气搅拌 / / PP 180L 057′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 417′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 110′ / 微蚀 Na2S2O8 40-80g/l 温度28±2℃ ; 水质：纯水 ; 过滤 1次/天 Cu2+≥40g/L PP 180L 156′ 10S H2SO4 2.0-3.0% Cu2+ 40g/l 微蚀速率 0.3-0.6um/min 1次/周 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 116′ / 酸洗 H2SO4 2.0-4.0% 非空气搅拌 / / PP 180L 134′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 315′ / 预浸 S·G 1.11-1.12 温度:常温控制 水质：纯水;非空气搅拌 1次/天 Cu2+ 1.5g/l PP 180L 045′ 10S 活化 S·G 1.13-1.16 温度45±2℃ 水质：纯水;非空气搅拌过滤、震动. 1次/班 每年更换一次药水或Cu2+≥1.5g/L PP 180L 422′ 20S 强度 75-100% SnCl2·H2O 3-12g/l Pd2+ 65%-100% 1次/周 Cu2+ 2g/L 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 138′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 425′ / 加速 酸度N 0.03-0.07N 温度25±2℃， 过滤、震动 1次/班 3000-5000M2 PP 180L 344′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 121′ / 沉铜 Cu2+ 1.8-2.5g/l 温度32±2℃ ; 水质:纯水 ; 空气搅拌 ; 过滤、震动. 1次/4H 每年更换一次药水 PP 180L 1642 15S NaOH 10-14g/l HCHO 3.0-5.0g/l EDTA 30-35g/l 沉铜厚度 0.3-0.7μm 1次/天 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 320′ / 水洗 自来水 / 空气搅拌 / / PP 180L 220′ / 上、下板 挂蓝 / 戴白色胶手套上板 戴黄色胶手套下板 / 养板缸水每班更换一次 S304 / / / 4.4工艺操作 4.4.1装板 4.4.1.1把需要上板的飞巴挂篮上的螺丝调松，然后取已粗磨好的沉铜板按上板架的格子一块一块的插满，再用可调固定架将板按格子固定及拧紧螺丝即可，上板时切忌两块板上在同一个格子里。 4.4.1.2上板时要戴白布手套，并注