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MEMS一种微夹持系统的研制 讲述者 : 于冲 学 号 :专 业 : 精密仪器与机械 chyu739@126.com 概述 介绍一种半自动微夹持系统，其由一个微夹持器和一个X，Y，Z轴定位系统组成。该微夹持器包含两个一自由度的手指，由非晶、软磁材料制成，并由电磁驱动。该微夹持器通过一个手动调节的不锈钢支架和三自由度定位系统相连。其位置经光学检测，由具有易读特点和位置连续跟踪功能的数字量仪指出。系统所有轴都是由步进电机驱动，操纵中能实现微粒的精确定位。最后，该微夹持系统在大气条件下借助光学显微镜进行了“取放” 实验。夹持力经评估为良好。 Shanghai University Shanghai University 目录 5. 思考 4. 结论与展望 3. 实验 2. 微夹持器与定位系统 1. 引言与总体结构 Shanghai University 1. 引言与总体结构 微、小型系统中操持、装配和检测等领域都要涉及微小型元件的操持，然而由于微、小型系统本身的特点，微小型元件的有效操持成了MEMS领域最具挑战性的任务之一，也成了制约MEMS发展及应用的关键技术之一。近年来，随着MEMS技术的发展，研究人员对微操作技术的研究表现出越来越浓的兴趣。 Shanghai University 1.1 引言 这